【技术实现步骤摘要】
一种磁流体端头及磁控溅射靶
本专利技术实施例涉及一种磁流体端头及包含所述磁流体端头的磁控溅射靶。
技术介绍
磁流体是一种对磁场敏感、可流动的新型材料,是由直径为纳米量级的磁性固体颗粒均匀分散在基载液中而形成的一种稳定的胶体溶液,它既具有液体的流动性又具有固体磁性材料的磁性,当磁流体注入磁场的间隙时,它可以充满整个间隙,形成一种"液体的O型密封圈",常用于将旋转运动传递到真空环境的密封装置中。卷绕式磁控溅射镀膜设备常用于在不锈钢卷材上镀膜,靶芯组件是它的主要组成部分之一,主要用于提供磁场和靶材的冷却等。目前,靶芯组件通常是由水管靶头、聚合物、T型轴套、o-ring、石墨环、弹簧、垫圈、铜螺母、T型袖套等多个部件构建而成,再配合磁流体一起使用,以实现真空密封,使靶材在真空环境腔室内旋转。其中:水管靶头用于实现靶芯与靶材的同心,并在其内部提供冷却水路;聚合物用于防止靶材在旋转过程中对靶头与袖套之间的磨损;T型轴套用于与石墨环配合实现机械密封;o-ring用于在石墨环的内部形成一层密封面;石墨环用于与o-ring和T型轴套的 ...
【技术保护点】
1.一种磁流体端头,应用于磁控溅射靶,包括外壳(1)、以及设置于所述外壳内的磁流体组件,其特征在于,还包括:/n空心轴组件,所述空心轴组件设置于所述外壳内,并且进一步包括:内空心轴(22)和外空心轴(21);所述内空心轴,内接于所述外空心轴中,用于连接溅射靶头;/n其中,所述磁流体组件设置于所述外壳和所述外空心轴之间,所述外空心轴能够将所述磁流体组件与所述内空心轴隔离。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁流体端头,应用于磁控溅射靶,包括外壳(1)、以及设置于所述外壳内的磁流体组件,其特征在于,还包括:
空心轴组件,所述空心轴组件设置于所述外壳内,并且进一步包括:内空心轴(22)和外空心轴(21);所述内空心轴,内接于所述外空心轴中,用于连接溅射靶头;
其中,所述磁流体组件设置于所述外壳和所述外空心轴之间,所述外空心轴能够将所述磁流体组件与所述内空心轴隔离。
2.根据权利要求1所述的磁流体端头,其特征在于,所述内空心轴与所述溅射靶头连接的一端从所述外壳中伸出。
3.根据权利要求2所述的磁流体端头,其特征在于,还包括用于对所述内空心轴进行绝缘的绝缘组件。
4.根据权利要求3所述的磁流体端头,其特征在于,所述绝缘组件包括:设置于所述外空心轴的内壁和内空心轴外壁之间的绝缘层(33)、设置于所述内空心轴的伸出端与所述外空心轴的端面之间的绝缘垫(32)、以及设置于所述内空心轴的伸出端与所述外壳的端面之间的绝缘体(31)。
5.根据权利要求1所述的磁流体端头,其特征在于,还包括供电组件,所述供电组件设置于所述内空心轴上,包括碳刷以及与碳刷连接的导电环,所述碳刷与外部电源连接,所述导电环与所述内空心轴接触连接。
6.根据权利要求5所述的磁流体端头,其特征在于,所述供电组件设置于所述内空心轴与所述溅射靶头连接一端的相对端,
所述绝缘组件还包括:绝缘环(34)、绝缘套(35)和绝缘外壳(36);
所述绝缘环(34),设置于所述供电组件与所述外空心轴之间,用于支撑所述绝...
【专利技术属性】
技术研发人员:年志刚,余冲平,罗友菊,张贵土,
申请(专利权)人:广东汉能薄膜太阳能有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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