一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，包括底座，所述底座上设有支撑杆，所述支撑杆末端设有左滑轮，所述左滑轮上通过连杆连接设置右滑轮，所述右滑轮上设有齿轮传动装置；所述左滑轮及右滑轮内分别设有纤维夹持装置，并通过纤维夹持装置将纤维两端固定；所述底座在位于纤维的下方设有靶材。本实用新型专利技术的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，只需在纤维装夹装置上将纤维装夹好，通过遥控手柄控制纤维的转动，既保证了纤维镀膜的可操作性与可靠性，又保证了纤维表面镀膜的全面性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置
本技术涉及真空磁控溅射镀膜
，具体涉及一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置。
技术介绍
纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。如镀金属玻璃纤维具有良好的电磁波反射性能，因此在军事上用作对抗雷达的干扰丝，此外镀银的玻璃纤维能焊接，可作导线；镀铝的玻璃纤维能反射大量的热能，可作高温防护衣等。在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射镀膜中，纤维镀膜前夹持安装的工作过程比较复杂，且镀膜时的可靠性不高，因此，针对一段细长的纤维，如何保证镀膜的可操作性与可靠性，成为本技术亟待解决的技术问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，本技术的目的在于提供一种以实现提高镀膜可操作性与可靠性的磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置。本技术技术方案如下:一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，包括底座，所述底座上设有支撑杆，所述支撑杆末端设有左滑轮，所述左滑轮上通过连杆连接设置右滑轮，所述右滑轮上设有齿轮传动装置；所述左滑轮及右滑轮内分别设有纤维夹持装置，并通过纤维夹持装置将纤维两端固定；所述底座在位于纤维的下方设有靶材。所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述左滑轮与右滑轮结构相同，均包括外圈、内圈、圆珠滚子及固定环套，所述连杆两端分别与左滑轮及右滑轮的内圈固定连接，所述齿轮传动装置与右滑轮的内圈固定连接。所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述夹持装置包括上压板、下压板、小支架及弹簧，所述小支架与上压板分别设置在内圈的相对位置处，所述下压板滑动配合设置在小支架上，且通过其下方弹簧的作用，将纤维的压在上压板与下压板之间。所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述齿轮传动装置包括连接轴A、锥齿轮A、连接轴B、锥齿轮B、连轴器及电机，所述电机通过连轴器与连接轴B相连，所述锥齿轮B设置在连接轴B顶端，所述连接轴A一端与内圈固定连接，另一端与锥齿轮A固定连接，并通过锥齿轮A与锥齿轮B啮合传动。所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述电机上设有电机控制装置，所述电机控制装置包括处理器、信号接收器及遥控手柄。本技术的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，只需在纤维装夹装置上将纤维装夹好，通过遥控手柄控制纤维的转动，既保证了纤维镀膜的可操作性与可靠性，又保证了纤维表面镀膜的全面性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。附图说明图1为本技术的安装示意图；图2为本技术的俯视结构图；图3为本技术的滑轮结构图；图4为本技术的控制原理图；图中：1-底座，2-支撑块，3-支撑杆，4-支撑座，5-靶材，6-左滑轮，7-连杆，8-纤维，9-右滑轮，10-连接轴A，11-锥齿轮A，12-锥齿轮B，13-连接轴B，14-联轴器，15-电机，16-外圈,17-内圈，18-圆珠滚子，19-上压板，20-下压板，21-小支架，22-弹簧，23-固定套环。具体实施方式以下结合说明书附图，对本技术的技术方案做进一步的描述：如图1-4所示，一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，包括底座1、支撑块2、支撑杆3、支撑座4、靶材5、左滑轮6、连杆7、纤维8、右滑轮9、连接轴A10、锥齿轮A11、锥齿轮B12、连接轴B13、联轴器14、电机15、外圈16、内圈17、圆珠滚子18、上压板19、下压板20、小支架21、弹簧22及固定套环23。磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，包括底座1，底座1上设有支撑杆3，支撑杆3末端设有左滑轮6，左滑轮6上通过连杆7连接设置右滑轮9，右滑轮9上设有齿轮传动装置；左滑轮6及右滑轮9内分别设有纤维夹持装置，并通过纤维夹持装置将纤维8两端固定；底座1在位于纤维8的下方设有靶材5。纤维夹持装置包括上压板19、下压板20、小支架21、弹簧22；小支架21与上压板19分别设置在内圈17的相对位置处，下压板20滑动配合设置在小支架21上，且通过其下方弹簧22的作用，将纤维8的压在上压板19与下压板20之间。左滑轮6和右滑轮9内圈17中的纤维夹持装置相互配合，将纤维8夹持在左滑轮6与右滑轮之间，从而将纤维8定位在靶材5上方位置。齿轮传动装置包括连接轴A10、锥齿轮A11、连接轴B13、锥齿轮B12、连轴器14及电机15，电机15通过连轴器14与连接轴B13相连，锥齿轮B12设置在连接轴B13顶端，所述连接轴A10一端与内圈17固定连接，另一端与锥齿轮A11固定连接，并通过锥齿轮A11与锥齿轮B12啮合传动。电机15通过联轴器带动连接轴B13与锥齿轮B12转动，锥齿轮B12带动锥齿轮A11与连接轴A13转动，连接轴A10带动右滑轮9的内圈17转动，右滑轮9的内圈17通过连杆7带动左滑轮6的内圈17转动；并通过纤维夹持装置实现对纤维8的翻转。电机控制装置包括处理器、信号接收器、遥控手柄，通过遥控手柄控制电机15的转动与停止，当信号接收器接收到遥控手柄的信号，处理器对信号进行处理，从而控制电机15的转停。工作过程：首先，将夹持式纤维镀膜装置安装好，将纤维8的两端分别夹持在左滑轮6与右滑轮9的压板之间；然后，启动设备，当设备正常工作时，真空泵开始抽出气体，达到一定真空度后，施加电场，靶材5上溅射出的靶原子一部分撞击在纤维8上并沉积；最后，启动电机15，电机15通过联轴器14带动连接轴B13与锥齿轮B12转动，锥齿轮B12带动锥齿轮A11与连接轴A10转动，连接轴A10带动内圈17转动，纤维8表面镀膜开始进行。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有支撑杆（3），所述支撑杆（3）末端设有左滑轮（6），所述左滑轮（6）上通过连杆（7）连接设置右滑轮（9），所述右滑轮（9）上设有齿轮传动装置；所述左滑轮（6）及右滑轮（9）内分别设有纤维夹持装置，并通过纤维夹持装置将纤维（8）两端固定；所述底座（1）在位于纤维（8）的下方设有靶材（5）。/n

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有支撑杆（3），所述支撑杆（3）末端设有左滑轮（6），所述左滑轮（6）上通过连杆（7）连接设置右滑轮（9），所述右滑轮（9）上设有齿轮传动装置；所述左滑轮（6）及右滑轮（9）内分别设有纤维夹持装置，并通过纤维夹持装置将纤维（8）两端固定；所述底座（1）在位于纤维（8）的下方设有靶材（5）。


2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述左滑轮（6）与右滑轮（9）结构相同，均包括外圈（16）、内圈（17）、圆珠滚子（18）及固定环套（23），所述连杆（7）两端分别与左滑轮（6）及右滑轮（9）的内圈（17）固定连接，所述齿轮传动装置与右滑轮（9）的内圈（17）固定连接。


3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述夹持装置包括上压板（19）、下压板（20）、小支架（...

【专利技术属性】
技术研发人员：马毅，谢续友，黄先伟，俞越翎，张泰华，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33