【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置
本技术涉及真空磁控溅射镀膜
,具体涉及一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置。
技术介绍
纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值,镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维,镀金属纤维按镀膜金属可分为:镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等,它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外,根据镀层的不同,还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。如镀金属玻璃纤维具有良好的电磁波反射性能,因此在军事上用作对抗雷达的干扰丝,此外镀银的玻璃纤维能焊接,可作导线;镀铝的玻璃纤维能反射大量的热能,可作高温防护衣等。在现有技术中,通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜,但是这种方法镀铝时,容易造成污染,并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种,具有膜层附着力强的优点,且对环境没有污染。但由于纤维的细小,在磁控溅射镀膜中,纤维镀膜前夹持安装的工作过程比较复杂,且镀膜时的可靠性不高,因此,针对一段细长的纤维,如何保证镀膜的可操作性与可靠性,成为本技术亟待解决的技术问 ...
【技术保护点】
1.一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)上设有支撑杆(3),所述支撑杆(3)末端设有左滑轮(6),所述左滑轮(6)上通过连杆(7)连接设置右滑轮(9),所述右滑轮(9)上设有齿轮传动装置;所述左滑轮(6)及右滑轮(9)内分别设有纤维夹持装置,并通过纤维夹持装置将纤维(8)两端固定;所述底座(1)在位于纤维(8)的下方设有靶材(5)。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)上设有支撑杆(3),所述支撑杆(3)末端设有左滑轮(6),所述左滑轮(6)上通过连杆(7)连接设置右滑轮(9),所述右滑轮(9)上设有齿轮传动装置;所述左滑轮(6)及右滑轮(9)内分别设有纤维夹持装置,并通过纤维夹持装置将纤维(8)两端固定;所述底座(1)在位于纤维(8)的下方设有靶材(5)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置,其特征在于,所述左滑轮(6)与右滑轮(9)结构相同,均包括外圈(16)、内圈(17)、圆珠滚子(18)及固定环套(23),所述连杆(7)两端分别与左滑轮(6)及右滑轮(9)的内圈(17)固定连接,所述齿轮传动装置与右滑轮(9)的内圈(17)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置,其特征在于,所述夹持装置包括上压板(19)、下压板(20)、小支架(...
【专利技术属性】
技术研发人员:马毅,谢续友,黄先伟,俞越翎,张泰华,
申请(专利权)人:浙江工业大学,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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