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本发明实施例提供一种磁流体端头，应用于磁控溅射靶，包括外壳、设置于所述外壳内的磁流体组件、以及空心轴组件。所述空心轴组件设置于所述外壳内，并进一步包括内空心轴和外空心轴；所述内空心轴内接于所述外空心轴中，用于连接溅射靶头；其中，所述磁流体组...
该专利属于广东汉能薄膜太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汉能薄膜太阳能有限公司授权不得商用。

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