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本发明涉及溅射靶材制备技术领域，具体涉及一种端部强化旋转靶材及其制备方法。本发明提供的端部强化旋转靶材，包括旋转靶材和固定在所述旋转靶材两端的靶材连接法兰；所述固定的方式为螺纹连接结合导电银胶填充；所述靶材连接法兰包括法兰盘和设置在所述法兰...
该专利属于福建阿石创新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建阿石创新材料股份有限公司授权不得商用。

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