一种无拼接旋转靶材的钎焊装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊装置，包括电热恒温鼓风干燥箱，所述电热恒温鼓风干燥箱内通过隔板形成有热风通道和加热室，所述电热恒温鼓风干燥箱上设有温控器、加热开关和鼓风开关，所述电热恒温鼓风干燥箱上设有鼓风机，所述鼓风机的送风口与电热恒温鼓风干燥箱的热风通道相连通；所述电热恒温鼓风干燥箱内设有用于固定靶管和背管的定位底座和用于加钎焊料的钎料盘；所述电热恒温鼓风干燥箱内设有加热电阻器，所述加热电阻器与加热开关电连接。本实用新型专利技术钎焊装置结构简单，钎焊效率高，适合大批量生产；能够解决靶材钎焊过程中靶管和背管加热过程温差的大的问题；容易控制升温速率，可以避免靶材因升温过快导致开裂的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种无拼接旋转靶材的钎焊装置
本技术涉及靶材制备
，尤其涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊装置。
技术介绍
旋转靶材是用于溅射镀膜制程中的关键材料。由于旋转靶材需要安装在镀膜机上使用，因此需要加工出与镀膜机相连接的结构以便安装，由于一些材料难以加工复杂结构因此需要将靶材材料钎焊在不锈钢背管或钛背管上，在背管上加工连接结构使其能够正常安装。目前已公开的现有技术，是利用不同的加热方式进行靶材和背管的加热并钎焊的方法；如公开号为CN109352109A，专利名称为一种旋转靶材绑定的装置及方法，其记载了一种利用油浴加热背管的方式进行靶材绑定的方法。这种方法能解决加热均匀性问题，但只加热背管，会存在靶管和背管温差过大问题，焊接装置结构复杂，成本高，操作难度大。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了解决现有技术的上述问题，本技术提供一种无拼接旋转靶材的钎焊装置，在电热恒温鼓风干燥箱内利用鼓风加热进行靶材、背管和钎悍料的加热及钎焊过程，解决了升温速率和加热均匀性问题，靶材、背管和钎焊料三者无温差，升温速率可控且可以根据靶材的规格选择内腔尺寸，最长可以绑定单节3m以内的旋转靶材。(二)技术方案为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案包括：一种无拼接旋转靶材的钎焊装置，包括电热恒温鼓风干燥箱，所述电热恒温鼓风干燥箱内通过隔板形成有热风通道和加热室，所述电热恒温鼓风干燥箱上设有温控器、加热开关和鼓风开关，所述温控器用于设置加热升温曲线，所述电热恒温鼓风干燥箱上设有鼓风机，所述鼓风机的送风口与电热恒温鼓风干燥箱的热风通道相连通，所述隔板上按间隔设有进风孔和回风孔，所述进风孔、加热室、回风孔和热风通道之间形成循环热风通道；所述鼓风机与鼓风开关电连接；所述电热恒温鼓风干燥箱内设有用于固定靶管和背管的定位底座和用于加钎焊料的钎料盘，定位底座位于加热室内；当靶管和背管连接于定位底座上时，钎料盘连接于靶管的上方端部，钎料盘上的钎料出料孔与靶管和背管之间形成的钎焊间隙相通，用于钎焊料的补给；所述电热恒温鼓风干燥箱内设有加热电阻器，所述加热电阻器与加热开关电连接。进一步地，所述加热室上设有热电偶，热电偶与温控器电连接。进一步地，所述电热恒温鼓风干燥箱的内壁设有保温层。进一步地，所述定位底座上设有用于固定靶管和背管的固定凹槽，固定凹槽的尺寸分别与靶管和背管的外径尺寸呈间隔配合固定。进一步地，所述钎料盘上设有与靶管和背管相配合的中孔，中孔的尺寸分别与靶管和背管的外径尺寸呈间隔配合固定。(三)有益效果本技术的有益效果是：1、钎焊装置结构简单，钎焊效率高，适合大批量生产。2、本钎焊装置能够解决靶材钎焊(绑定)过程中靶管和背管加热过程温差的大的问题。3、本钎焊装置容易控制升温速率，可以避免靶材因升温过快导致开裂的问题。附图说明图1为本技术钎焊装置结构示意图；图2为本技术定位底座和钎料盘安装状态分解示意图。具体实施方式为了更好的解释本技术，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本技术作详细描述。一种无拼接旋转靶材的钎焊装置，如图1、图2所示，包括电热恒温鼓风干燥箱1，电热恒温鼓风干燥箱1为门式结构，所述电热恒温鼓风干燥箱1内通过隔板形成有热风通道6和加热室14，所述电热恒温鼓风干燥箱1上设有温控器2、加热开关3和鼓风开关4，所述温控器2用于设置加热升温曲线，所述电热恒温鼓风干燥箱1上设有鼓风机7，所述鼓风机7的送风口与电热恒温鼓风干燥箱1的热风通道6相连通，所述隔板上按间隔设有进风孔61和回风孔62，所述进风孔61、加热室14、回风孔62和热风通道6之间形成循环热风通道；所述鼓风机7与鼓风开关4电连接；所述电热恒温鼓风干燥箱1内设有用于固定靶管10和背管12的定位底座9和用于加钎焊料的钎料盘11，定位底座9位于加热室14内；当靶管10和背管12连接于定位底座9上时，钎料盘11连接于靶管10的上方端部，钎料盘11上的钎料出料孔与靶管10和背管12之间形成的钎焊间隙相通，用于钎焊料的补给；所述电热恒温鼓风干燥箱1内设有加热电阻器8，所述加热电阻器8与加热开关3电连接。进一步地，为了实时了解加热室14内的温度，所述加热室14上设有热电偶13，热电偶13与温控器2电连接。进一步地，为了保证电热恒温鼓风干燥箱1的保温效果，所述电热恒温鼓风干燥箱1的内壁设有保温层5。具体地，所述定位底座9上设有用于固定靶管10和背管12的固定凹槽，固定凹槽的尺寸分别与靶管10和背管12的外径尺寸呈间隔配合固定。具体地，所述钎料盘11上设有与靶管10和背管12相配合的中孔，中孔的尺寸分别与靶管10和背管12的外径尺寸呈间隔配合固定。上述温控器2、热电偶13、鼓风机7、鼓风开关4、加热开关3和加热电阻器8均为市场采购件，设计成本低，节约成本。以上所述仅为本技术的较佳实施例，凡依本技术申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本技术的涵盖范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无拼接旋转靶材的钎焊装置，其特征在于，包括电热恒温鼓风干燥箱(1)，所述电热恒温鼓风干燥箱(1)内通过隔板形成有热风通道(6)和加热室(14)，所述电热恒温鼓风干燥箱(1)上设有温控器(2)、加热开关(3)和鼓风开关(4)，所述温控器(2)用于设置加热升温曲线，所述电热恒温鼓风干燥箱(1)上设有鼓风机(7)，所述鼓风机(7)的送风口与电热恒温鼓风干燥箱(1)的热风通道(6)相连通，所述隔板上按间隔设有进风孔(61)和回风孔(62)，所述进风孔(61)、加热室(14)、回风孔(62)和热风通道(6)之间形成循环热风通道；所述鼓风机(7)与鼓风开关(4)电连接；所述电热恒温鼓风干燥箱(1)内设有用于固定靶管(10)和背管(12)的定位底座(9)和用于加钎焊料的钎料盘(11)，定位底座(9)位于加热室(14)内；当靶管(10)和背管(12)连接于定位底座(9)上时，钎料盘(11)连接于靶管(10)的上方端部，钎料盘(11)上的钎料出料孔与靶管(10)和背管(12)之间形成的钎焊间隙相通，用于钎焊料的补给；所述电热恒温鼓风干燥箱(1)内设有加热电阻器(8)，所述加热电阻器(8)与加热开关(3)电连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种无拼接旋转靶材的钎焊装置，其特征在于，包括电热恒温鼓风干燥箱(1)，所述电热恒温鼓风干燥箱(1)内通过隔板形成有热风通道(6)和加热室(14)，所述电热恒温鼓风干燥箱(1)上设有温控器(2)、加热开关(3)和鼓风开关(4)，所述温控器(2)用于设置加热升温曲线，所述电热恒温鼓风干燥箱(1)上设有鼓风机(7)，所述鼓风机(7)的送风口与电热恒温鼓风干燥箱(1)的热风通道(6)相连通，所述隔板上按间隔设有进风孔(61)和回风孔(62)，所述进风孔(61)、加热室(14)、回风孔(62)和热风通道(6)之间形成循环热风通道；所述鼓风机(7)与鼓风开关(4)电连接；所述电热恒温鼓风干燥箱(1)内设有用于固定靶管(10)和背管(12)的定位底座(9)和用于加钎焊料的钎料盘(11)，定位底座(9)位于加热室(14)内；当靶管(10)和背管(12)连接于定位底座(9)上时，钎料盘(11)连接于靶管(10)的上方端部，钎料盘(11)上的钎料出料孔与靶管(10)和背管(12)之间形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：林志河，陈钦忠，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35