一种平面靶材解绑定装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种平面靶材解绑定装置及方法，属于靶材解绑定技术领域。本发明专利技术提供的平面靶材解绑定装置可实现平面靶材的解绑定，其中，利用传送装置可以实现平面靶材在各区域的输送，利用红外加热装置可以对平面靶材进行红外加热，实现平面靶材中铟焊料的熔化，除铟装置中各部件设置合理，可以有效刮除背板以及废靶上附着的铟焊料(背板可直接投入二次使用)，铟焊料回收率高(回收率可达到97％以上)，同时可以实现铟焊料和铜丝自动分离，避免了铟焊料和铜丝二次分离的步骤，提高了处理效率。此外，本发明专利技术提供的平面靶材解绑定装置可实现自动化、大批量的平面靶材解绑定，节省了大量的人力，极大地提高了解绑定效率。

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材解绑定装置及方法
本专利技术涉及靶材解绑定
，尤其涉及一种平面靶材解绑定装置及方法。
技术介绍
近几年来，由于电子显示行业的飞速发展，磁控溅射靶的需求量也越来越大。磁控溅射靶由靶材和背板两部分组成，通常将靶材和背板的结合过程称为靶材的绑定。靶材的绑定大致过程为：先将靶材和背板表面进行金属化，再在背板上均匀布设几条直径为0.2～1mm的铜丝以保证钎焊时铟焊料层的厚度均匀，最后用铟焊料进行钎焊绑定。通常平面靶材的利用率较低，一般只有30～40％左右，且背板造价比较昂贵，需要多次重复利用，因此平面靶材使用后，往往需要将残靶和背板分离(即解绑定)，以便于残靶的回收和背板的再次利用，同时回收铟焊料以及铜丝。目前的解绑定方法是将使用后的靶材(含背板)放在加热台上，对其进行加热，至铟焊料熔化后，将残靶从背板上取下来。该法为纯人工操作，解绑定效率低，并且由于铟熔化的温度在180℃左右，工人工作环境恶劣。中国专利201510360031.2公开了一种靶材解绑定装置，该装置仅针对使用导电胶进行绑定的靶材，具体是利用溶胀剂溶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面靶材解绑定装置，其特征在于，包括传送装置(1)，沿所述传送装置(1)的运行方向依次设置有红外加热装置(2)和除铟装置；所述除铟装置包括设置在传送装置(1)一侧的固定装置(10)、机械手臂(3)和废靶推板(4)，以及设置在所述传送装置(1)另一侧的集铟池(5)、废靶支架(6)和铜丝收集篮(7)；/n其中，所述固定装置(10)、机械手臂(3)和废靶推板(4)顺次连接，且所述废靶推板(4)的运行方向与传送装置(1)的运行方向相垂直；以所述废靶推板(4)的运行方向为前方，所述废靶推板(4)的后端连接有第一刮铟板(8)；/n沿所述废靶推板(4)的运行方向，所述传送装置(1)、集铟池(5)和废...

【技术特征摘要】
1.一种平面靶材解绑定装置，其特征在于，包括传送装置(1)，沿所述传送装置(1)的运行方向依次设置有红外加热装置(2)和除铟装置；所述除铟装置包括设置在传送装置(1)一侧的固定装置(10)、机械手臂(3)和废靶推板(4)，以及设置在所述传送装置(1)另一侧的集铟池(5)、废靶支架(6)和铜丝收集篮(7)；
其中，所述固定装置(10)、机械手臂(3)和废靶推板(4)顺次连接，且所述废靶推板(4)的运行方向与传送装置(1)的运行方向相垂直；以所述废靶推板(4)的运行方向为前方，所述废靶推板(4)的后端连接有第一刮铟板(8)；
沿所述废靶推板(4)的运行方向，所述传送装置(1)、集铟池(5)和废靶支架(6)顺次设置；所述废靶支架(6)呈水平放置的栏杆状，包括围栏和若干个平行设置的栏杆柱；所述废靶支架(6)靠近集铟池(5)一侧的围栏上连接有第二刮铟板(9)；
所述废靶支架(6)的底部设置有铜丝收集篮(7)，以所述废靶推板(4)的运行方向为长度方向，所述集铟池(5)的长度<平面靶材中铜丝的长度<废靶支架(6)中栏杆柱的长度。


2.根据权利要求1所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述红外加热装置(2)非接触设置在传送装置(1)的上方。


3.根据权利要求1或2所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述红外加热装置(2)包括红外加热灯组和红外测温枪。


4.根据权利要求1所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述传送装置(1)沿水平方向运行。


5.根据权利要求4所述的平面靶材解绑定装置，其特征在于，所述废靶支架(6)与传送装置(1)处于同一水平面。


6.根据权利要求1或5所述的平面靶材解绑定装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄先彬，张科，李康，李强，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35