AP系统股份有限公司专利技术

AP系统股份有限公司共有189项专利

  • 提供一种分配器设备及其控制方法。该分配器设备包含:排放单元,其包括用于将源材料排放到衬底上的喷嘴;间隙传感器,用于测量所述排放单元的喷嘴与所述衬底之间的间隙;支撑单元,其具有上面安装有所述排放单元的一个侧面和上面安装有所述间隙传感器的另...
  • 本发明涉及一种激光工艺装置。具体而言,本发明关于用于在激光移除工艺分离一薄膜与基板的激光工艺装置。根据本发明的激光工艺装置包括:设以发射一激光光束的一激光光束光源、设以形成自激光光束光源所发出的激光光束并用以处理能量分布的一光学系统、用...
  • 一种液晶滴落设备包含:平台,此处安放衬底;第一移动单元,其用以在水平方向上移动所述平台;至少一个液晶滴落单元,其用以将液晶滴落在所述衬底上;第二移动单元,其用以在所述水平方向上移动所述液晶滴落单元;以及滴落控制单元,其用以通过所述第一和...
  • 一种用于控制密封件分配器设备的方法,所述密封件分配器设备包含用于将密封剂施加到衬底上的喷嘴,以及用于测量衬底与喷嘴之间的间距传感器,所述方法包含:使用喷嘴形成呈十字形状的密封剂图案;通过用间距传感器测量密封剂图案的中心点来测量喷嘴和间距...
  • 一种用于控制衬底对准设备的视觉系统的焦距的方法,衬底对准设备使用相机区段所拍摄的图像来对准衬底,所述方法包含:通过相机区段拍摄图像以用于焦距控制;将存储图像与为焦距控制而拍摄的图像进行比较,且将对应于为焦距控制而拍摄的图像的存储图像设置...
  • 根据本发明的衬底固持器模块包含:上部卡盘,其具备喷嘴,用于固持和固定衬底;旁路单元,其经相应地安置以与喷嘴连通且经制造以可向上和向下移动;以及压力调整单元,其连接到旁路单元,压力调整单元包括集成管,用于将旁路单元和喷嘴变换为真空状态或向...
  • 本发明涉及一种激光加工设备,具备:在内部安装基板并在上方安装石英窗的反应室;安装于反应室的外部,使其位于石英窗的顶部,并将帘状激光束照射于基板的激光装置;安装于激光装置和石英窗之间,并隔离激光束的侧面,为使沿着激光束的纵向水平移动,并在...
  • 所揭示的是一种能够通过调整插入在主体单元中的柱塞的插入体积而精确地控制液晶的注射量的用于注射液晶的注射器,以及一种使用所述注射器来注射液晶的设备和方法。所述注射器包含:主体单元,其经配置以具有将被填充所述液晶的内部空间;以及柱塞,其经配...
  • 根据实施例的一种衬底固持单元包含粘接模块。所述粘接模块包含:主体部分;粘接卡盘,其安装到所述主体部分上用于固持并固定衬底;第一分离层,其安置在所述粘接卡盘内侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离;以及第二分离层,其安置在所述粘接卡盘外侧处...