衬底固持器模块和具有该衬底固持器模块的衬底装配设备制造技术

根据本发明专利技术的衬底固持器模块包含：上部卡盘，其具备喷嘴，用于固持和固定衬底；旁路单元，其经相应地安置以与喷嘴连通且经制造以可向上和向下移动；以及压力调整单元，其连接到旁路单元，压力调整单元包括集成管，用于将旁路单元和喷嘴变换为真空状态或向旁路单元和喷嘴供应气体。根据本发明专利技术的上部卡盘的喷嘴通过旁路单元而连接到具有排气泵和气体锗存单元的压力调整单元。随后，当上部与下部衬底彼此粘附时，气体储存单元中的气体注射在上部衬底的顶部上。因而，气体的注射压力致使上部衬底紧密地粘附到下部衬底上。因此，当腔室的内部变换为大气条件以便完成所获得的粘附时，可防止在上部与下部衬底之间引入不需要的气体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衬底固持器模块和具有所述衬底固持器模块的衬底装配设备，且尤其 涉及一种使用气体注射压力来使上部和下部衬底彼此粘附的衬底固持器模块和具有所述 衬底固持器模块的衬底装配设备。
技术介绍
常规上，阴极射线管(cathode ray tube, CRT)已经用作显示装置。然而，CRT 具有的缺点在于，其体积较大且重量较重。因此，目前例如液晶显示器(liquid crystal display,LCD)、等离子显示器面板(plasma display panel,PDP)和有机发光装置(organic light emitting device,OLED)等平坦显示器面板已越来越多地使用。上述平坦显示器面 板特征在于其重量轻、厚度薄且功率消耗低。在平坦显示器面板的情况下，将一对上部和下部衬底彼此装配以制造平坦显示器 面板。也就是说，例如为了制造LCD，上面形成多个薄膜晶体管和多个像素电极的下部衬底 经固持且固定到下部卡盘(chuck)。随后，沿着下部衬底的边界施加例如密封剂等密封部 件，且将液晶落在(dropped onto)下部衬底上。此外，上面形成共同电极和彩色滤光片的 上部衬底经固持且固定到在下部卡盘顶部上相对地安置的上部卡盘。上部和下部卡盘中的 每一者具备静电卡盘部分，用于将上部衬底固持且固定到所述部分。为了使上部与下部衬底彼此粘附，常规上已使用利用上部卡盘的机械粘附方法。 然而在此情况下，存在的问题在于上部与下部衬底未彼此完全粘附，且在上部与下部衬底 之间存在某种程度的单独的空间。随后，为了完成上部与下部衬底之间所获得的粘附，腔室 的内部从真空状态变换为大气条件。此时，由于不需要的气体经由上部与下部衬底之间的 单独的空间而引入，因此所获得的装置是有缺陷的。
技术实现思路
因此，设想本专利技术以解决现有技术中的上述问题。本专利技术提供衬底固持器模块和 具有所述衬底固持器模块的衬底装配设备，其中使用气体注射压力来使上部和下部衬底彼 此粘附，使得在腔室的内部变换为大气条件以便完成上部与下部衬底之间所获得的粘附 时，可防止在上部与下部衬底之间引入不需要的气体。根据本专利技术的一方面，提供一种衬底固持器模块，其包含上部卡盘，其具备喷嘴， 用于固持和固定衬底；旁路单元，其经相应地安置以与所述喷嘴连通且经制造以可向上和 向下移动；以及压力调整单元，其连接到所述旁路单元，所述压力调整单元包含集成管，用 于将所述旁路单元和所述喷嘴变换为真空状态或向所述旁路单元和所述喷嘴供应气体。所述喷嘴可经配置以穿过所述上部卡盘，使得所述喷嘴的一端经安置以暴露在所 述上部卡盘的上部表面上，且所述喷嘴的另一端经安置以暴露在所述上部卡盘的下部表面 上。所述旁路单元可包含凸缘，其相应地安置在所述喷嘴的暴露在所述上部卡盘的上部表 面上的顶端上；轴，其连接到所述凸缘；以及驱动单元，其用于向上和向下移动所述轴。所述压力调整单元可包含第一管，其连接到排气泵；第二管，其连接到气体储存单元；且所 述集成管使一端经安置以连接在所述第一管与所述第二管之间且使另一端连接到所述旁 路单元的所述轴。所述压力调整单元可进一步包含第一阀，其安装在所述第一管中以控制所述第 一管与所述集成管之间的连通；第二阀，其安装在所述第二管中以控制所述第二管与所述 集成管之间的连通；以及第三阀，其安装在所述集成管中以控制所述集成管与所述旁路单 元的所述轴之间的连通。所述上部卡盘可具备用于通过使用静电力来固持和固定所述衬底 的静电卡盘部分。根据本专利技术的另一方面，提供一种衬底装配设备，其包含腔室；衬底固持器模 块，其具备旁路单元和压力调整单元，其中所述旁路单元和所述压力调整单元用来将安置 在所述腔室中的上部卡盘的喷嘴变换为真空状态或向所述喷嘴供应气体；以及下部卡盘， 其与所述上部卡盘相对地安置，用于固持和固定所述衬底。所述旁路单元可相应地经安置以与所述喷嘴连通，且所述旁路单元可连接到具备 集成管的压力调整单元，所述集成管用于将所述旁路单元和所述喷嘴变换为真空状态或向 所述旁路单元和所述喷嘴供应气体。所述集成管可连接到一连接到排气泵的第一管和一连 接到气体储存单元的第二管两者。所述上部卡盘可连接到用于向上和向下移动所述上部卡 盘的驱动单元，而所述下部卡盘连接到用于向上和向下移动所述下部卡盘的驱动单元。根据本专利技术的又一方面，提供一种衬底处理方法，其包含将上部衬底相应地对准 到安置在腔室中的上部卡盘上，且将下部衬底相应地对准到下部卡盘上；通过将提供在所 述上部卡盘中的喷嘴变换为真空状态而将所述上部衬底粘附到所述上部卡盘；通过使用提 供在所述上部卡盘中的静电卡盘部分而将所述上部衬底固持且固定到所述上部卡盘，且随 后使所述上部衬底与所述下部衬底耦合；以及向所述喷嘴供应气体，使得所述气体的注射 压力将所述上部衬底粘附到所述下部衬底上。可使用提供在所述下部卡盘中的静电卡盘部分来将所述下部衬底固持且固定到 所述下部卡盘。在将所述上部衬底粘附到所述上部卡盘时，可使用连接到压力调整单元的 排气泵的第一管和连接在所述第一管与旁路单元之间的集成管来将所述旁路单元和所述 喷嘴变换为真空状态。可使用安装在所述第一管中的第一阀来控制所述第一管与所述集成 管之间的连通，且可使用安装在所述集成管中的第三阀来控制所述集成管与所述旁路单元 之间的连通，使得所述旁路单元和所述喷嘴可变换为真空状态。在通过使用所述静电卡盘 部分而将所述上部衬底固持且固定到所述上部卡盘之后，所述衬底处理方法可进一步包含 通过以驱动单元和所述旁路单元的轴而向上移动凸缘来使所述凸缘与所述喷嘴分离。在通 过向上移动所述凸缘使所述凸缘与所述喷嘴分离之后，所述腔室可变换为真空状态。在向 所述喷嘴供应所述气体的过程中，使用连接到压力调整单元的气体储存单元的第二管和连 接在所述第二管与旁路单元之间的集成管来向所述旁路单元和所述喷嘴供应所述气体。可 在所述上部衬底的顶部上注射所述气体，所述气体在使用所述压力调整单元下供应到与所 述旁路单元的凸缘连通的所述喷嘴。可使用安装在所述第二管中的第二阀来控制所述第二 管与所 集成管之间的连通，且可使用安装在所述集成管中的第三阀来控制所述集成管与 所述旁路单元之间的连通，以便可向所述旁路单元和所述喷嘴供应所述气体。附图说明从以下结合附图做出的描述中可更详细理解本专利技术的优选实施例，其中图1到图3是依序说明通过使用根据本专利技术实施例的衬底装配设备来装配上部与 下部衬底的方法的截面图。具体实施例方式下文中，将参看附图详细描述本专利技术的优选实施例。然而，本专利技术不限于如下文将 描述的以下实施例，而是可以彼此不同的其它各种形式来实施，且仅提供本专利技术实施例以 完成本专利技术的揭示内容且供所属领域的技术人员完全理解本专利技术的范围。在所有附图中， 相同参考标号用于指定相同元件。图1到图3是依序说明通过使用根据本专利技术实施例的衬底装配设备来装配上部与 下部衬底的方法的截面图。参看图1到图3，衬底装配设备包含腔室100，其具有内部空间；衬底固持器模 块200，其包含安置于腔室100的上部部分中的上部卡盘210以用于固持和固定上部衬底 101 ；下部卡盘410，其与上部卡盘210相对地(oppositely)安置，用于固持和固定下部衬 底102 ；上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底固持器模块，其包括：上部卡盘，其具备喷嘴，用于固持和固定衬底；旁路单元，其经相应地安置以与所述喷嘴连通且经制造以可向上和向下移动；以及压力调整单元，其连接到所述旁路单元，所述压力调整单元包括集成管，用于将所述旁路单元和所述喷嘴变换为真空状态或向所述旁路单元和所述喷嘴供应气体。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金容锡，文成哲，金光寿，安成洙，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]