衬底固持单元和具有其的衬底组装设备制造技术

根据实施例的一种衬底固持单元包含粘接模块。所述粘接模块包含：主体部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分上用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所述粘接卡盘内侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所述粘接卡盘外侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。根据实施例，将分离层分别安置在所述粘接卡盘的内侧和外侧上。因此，在将衬底与所述粘接卡盘分离时，通过所述多个分离层使施加到所述衬底上的力最小化，以便防止所述衬底的未对准或损坏。而且，提供具有所述粘接卡盘和所述分离层的多个粘接模块，且根据所述衬底的大小来控制所述多个粘接模块的定位。因此，不管所述衬底的大小都可易于实现对衬底的固持。

【技术实现步骤摘要】

本揭示案涉及衬底固持单元和具有其的衬底组装设备，且更明确地说，涉及在从 粘接卡盘去除衬底时使衬底翘曲(warping)和损坏最小化的衬底固持单元和具有其的衬 底组装设备。
技术介绍
在过去将阴极射线管(CRT,Cathode Ray Tube)用作显示装置。然而，CRT涉及具 有大体积和相当大重量的缺点。因此，平面显示面板的使用近来急剧增加，例如液晶显示器 (LCD,Liquid Crystal Display)、等离子显示面板(PDP，Plasma Display Panel)和有机发 光装置(OLED， Organic LightEmitting Device)。此类平面显示面板具有轻质量且薄且具 有低功率消耗的特性。 在平面显示面板的情况下，组装并制造一对平坦面板型衬底。为引用制造LCD面 板的具体实例，将形成有多个薄膜晶体管和像素电极的衬底固持于下部卡盘上。接着，沿着 衬底的周界涂覆例如密封剂的密封部件，且将液晶滴落到衬底上。同样，通过安置在下部卡 盘上方并面向所述下部卡盘的衬底固持单元来固持形成有彩色滤光片和共同电极的衬底。 不限于此，可改变上部衬底和下部衬底的特性。此处，所述衬底固持单元具备静电卡盘或粘 接卡盘以固持并固定衬底。 为了固持具有大表面积的衬底，必须制造大小对应于大面积衬底的静电卡盘，但 所述卡盘的制造使总成本提高。同样，在制造大小对应于衬底的粘接卡盘的情况下，所述衬 底附接到所述卡盘并由所述卡盘固持，然后通过施加实际力而将衬底从粘接卡盘去除。此 处，可能发生衬底翘曲或损坏。为了解决这些问题，在安装喷嘴使得其一末端暴露在粘接卡 盘的表面处之后，将气体供应给所述喷嘴以在不施加实际力的情况下从卡盘去除衬底。然 而，在这种情况下，仅使衬底在相应位置中的区被分离，且衬底翘曲和受损坏的问题仍持续 存在。
技术实现思路
本揭示案提供一种衬底固持单元和具有其的衬底组装设备，其能够通过将分离层 分别安置在固持并固定衬底的粘接卡盘内侧和外侧处而在从所述粘接卡盘去除衬底期间 最小化衬底翘曲和损坏。 根据示范性实施例， 一种衬底固持单元包含粘接模块，且所述粘接模块包含主体 部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分以用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所 述粘接卡盘内侧处以用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所 述粘接卡盘外侧处以用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。 粘接卡盘、第一分离层和第二分离层可经安装以暴露在主体部分的表面上。 粘接卡盘可形成为具有开放中心的环形(an皿lar)形状。 粘接卡盘可包含形成在其表面上的多个突出物。 所述衬底固持单元可进一步包含沿粘接卡盘的内周边和外周边形成的流体阻挡 部分。 所述衬底固持单元可进一步包含连接到粘接卡盘以帮助衬底的附接和分离的第一气体调节器。 所述第一气体调节器可包含多个第一喷嘴，其分别经由多个粘接卡盘而安置且 其一末端暴露在所述多个粘接卡盘的表面处；第一线路延伸部，其连接所述多个第一喷嘴； 以及第一真空产生器与第一气体供应器，其连接到所述第一线路延伸部和所述第一喷嘴。 所述第一气体调节器可进一步包含第一线路，其连接到所述第一真空产生器； 第二线路，其连接到所述第一气体供应器；以及第一连通线路，其一末端安置在所述第一线 路与所述第二线路之间并连接所述第一线路与所述第二线路，且其另一末端与所述第一线 路延伸部连通。所述衬底固持单元可进一步包含第一阀，其控制所述第一线路与所述第一连通线路之间的连通；以及第二阀，其控制所述第二线路与所述连通线路之间的连通。 所述衬底固持单元可进一步包含连接到所述第一连通线路的第一旁路，用于经由使所述第一连通线路升高和降低来控制所述第一连通线路与所述第一线路延伸部之间的连通。 所述第二分离层可形成为具有开放中心的环形形状，且可经安置而与粘接卡盘间 隔开并围绕在粘接卡盘的外周边周围。 所述第二分离层可以复数形式提供，且所述第二分离层可在粘接卡盘外侧处相互 间隔开地安置。 可使用可弹性变形材料来形成所述第一分离层和所述第二分离层，且可通过气体 调节器使所述第一分离层和所述第二分离层弹性变形。 所述衬底固持单元可进一步包含连接到第一分离层和第二分离层的第二气体调 节器，用于帮助衬底的分离。 所述第二气体调节器可包含多个第二喷嘴，其分别经安置而对应于第一分离层 和第二分离层的反面；第二线路延伸部，其连接所述多个第二喷嘴；以及第二真空产生器 和第二气体供应器，其连接到所述第二线路延伸部和所述第二喷嘴。 所述第二气体调节器可进一步包含第三线路，其连接到所述第二真空产生器； 第四线路，其连接到所述第二气体供应器；以及第二连通线路，其一末端安置在所述第三线 路与所述第四线路之间并连接所述第三线路与所述第四线路，且另一末端经安置而与所述 第二线路延伸部连通。所述衬底固持单元可进一步包含第三阀，其控制所述第三线路与所述第二连通 线路之间的连通；以及第四阀，其控制所述第四线路与所述第二连通线路之间的连通。 所述衬底固持单元可进一步包含连接到所述第二连通线路的第二旁路，用于经由 使所述第二连通线路升高和降低来控制所述第二连通线路与所述第二线路延伸部之间的 连通。 经由使用第二气体调节器的第二气体供应器而将气体供应给第二喷嘴，可使第一 分离层和第二分离层弹性变形以朝向安置衬底的方向突出。根据另一示范性实施例，一种衬底组装设备包含腔室；衬底固持单元，其安置在所述腔室中，且包含固持衬底的粘接卡盘和多个粘接模块，所述多个粘接模块包含分别安 置在所述粘接卡盘内侧和外侧处的第一分离层和第二分离层；以及下部卡盘，其经安置而 与所述衬底固持单元相对。 所述衬底组装设备可进一步包含第一气体调节器，其连接到所述粘接卡盘，用于使用真空吸力而将衬底附接到所述粘接卡盘；以及第二气体调节器，其连接到所述第一分离层和所述第二分离层，用于使所述第一分离层和所述第二分离层弹性变形。 所述第二气体调节器可经由将气体供应给所述第一分离层和所述第二分离层的反面来使所述第一分离层和所述第二分离层弹性变形以朝向安置衬底的方向突出。 所述衬底组装设备可进一步包含连接到所述衬底固持单元和下部卡盘的驱动器，用于使所述衬底固持单元和下部卡盘升高和降低。附图说明 由结合附图所进行的以下描述可更详细地理解示范性实施例，其中 图1为根据示范性实施例的衬底组装设备的截面图。 图2为根据另一示范性实施例的衬底组装设备的截面图。 图3A为根据另外示范性实施例的粘接模块的平面图。 图3B为显示根据另一示范性实施例的粘接模块的主要部分的透视图。 图4A为根据又一示范性实施例的粘接模块的平面图。 图4B为显示根据再一示范性实施例的粘接模块的主要部分的透视图。 图5A和图5B为显示根据又一示范性实施例的衬底组装设备的操作的截面图。具体实施例方式在下文，将参看附图来详细描述具体实施例。然而，本专利技术可以不同形式来具体 化，且不应被理解为限于本文所陈述的实施例。相反，提供这些实施例，使得本揭示案将为 彻底且完整的，且将本专利技术的范围充分传达给所属领域的技术人员。相同参考数字始终指 代相同元件。 图1为根据示范性实施例的衬底组装设备的截面图。图2为根据另一示范性实施 例的衬底组装设备的截面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底固持单元，其包括粘接模块，所述粘接模块包括：主体部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分，用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所述粘接卡盘内侧处，用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所述粘接卡盘外侧处，用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：辛在爀，金容锡，尹靑龙，边世勋，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]