衬底固持单元和具有其的衬底组装设备制造技术

根据实施例的一种衬底固持单元包含粘接模块。所述粘接模块包含：主体部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分上用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所述粘接卡盘内侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所述粘接卡盘外侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。根据实施例，将分离层分别安置在所述粘接卡盘的内侧和外侧上。因此，在将衬底与所述粘接卡盘分离时，通过所述多个分离层使施加到所述衬底上的力最小化，以便防止所述衬底的未对准或损坏。而且，提供具有所述粘接卡盘和所述分离层的多个粘接模块，且根据所述衬底的大小来控制所述多个粘接模块的定位。因此，不管所述衬底的大小都可易于实现对衬底的固持。

【技术实现步骤摘要】

本揭示案涉及衬底固持单元和具有其的衬底组装设备，且更明确地说，涉及在从 粘接卡盘去除衬底时使衬底翘曲(warping)和损坏最小化的衬底固持单元和具有其的衬 底组装设备。
技术介绍
在过去将阴极射线管(CRT,Cathode Ray Tube)用作显示装置。然而，CRT涉及具 有大体积和相当大重量的缺点。因此，平面显示面板的使用近来急剧增加，例如液晶显示器 (LCD,Liquid Crystal Display)、等离子显示面板(PDP，Plasma Display Panel)和有机发 光装置(OLED， Organic LightEmitting Device)。此类平面显示面板具有轻质量且薄且具 有低功率消耗的特性。 在平面显示面板的情况下，组装并制造一对平坦面板型衬底。为引用制造LCD面 板的具体实例，将形成有多个薄膜晶体管和像素电极的衬底固持于下部卡盘上。接着，沿着 衬底的周界涂覆例如密封剂的密封部件，且将液晶滴落到衬底上。同样，通过安置在下部卡 盘上方并面向所述下部卡盘的衬底固持单元来固持形成有彩色滤光片和共同电极的衬底。 不限于此，可改变上部衬底和下部衬底的特性。此处本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底固持单元，其包括粘接模块，所述粘接模块包括：主体部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分，用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所述粘接卡盘内侧处，用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所述粘接卡盘外侧处，用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：辛在爀，金容锡，尹靑龙，边世勋，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]