基板搬送装置、基板作业装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板搬送装置、基板作业装置以及搬送带，所述基板搬送装置沿指定的搬送方向搬送基板，其包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，支撑所述正交方向上的基板的端部；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送带包括：带基部，在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑。根据本发明专利技术，能够稳定地搬送厚度及重量不同的各种基板。

【技术实现步骤摘要】
基板搬送装置、基板作业装置
本专利技术涉及搬送基板的基板搬送装置、对由基板搬送装置搬送至作业位置的基板实行指定的作业的基板作业装置、以及适于基板搬送装置的搬送带。作为基板作业装置进行的作业，包括例如表面安装作业、基板检查作业、涂敷剂的涂敷作业、印刷作业、安装有元件的基板的回流作业等。
技术介绍
在表面安装机等基板作业装置中，基板被搬入作业位置，另外，作业结束后基板从作业位置被搬出。为了进行这样的基板搬送，基板作业装置中装备有基板搬送装置。例如日本专利公开公报特开2009-289780号公报(以下，简称为“专利文献1”)的图3中记载的基板搬送装置具有左右一对搬送带。该基板搬送装置具备自以往广泛使用的一般的平带作为各搬送带。各搬送带利用宽度方向(左右方向)的内侧部分来支撑基板，通过由驱动马达的驱动而使各搬送带移动(行走)来搬送该基板。另外，引导部件对应于每一个搬送带而设置。各引导部件从上方覆盖搬送带的宽度方向的外侧端部。各引导部件在各自宽度方向内侧具有垂直的引导面，利用所述引导面引导由搬动带搬送的基板的侧端面，从而将搬送中的基板保持为一定的姿势。如此来谋求基板搬送的稳定。专利文献1中记载的基板搬送方式称为“以往例1”。另外，日本专利公开公报特开2000-264414号(以下，简称为“专利文献2”)的图1、图2、图4、图5中，记载有与以往例1不同的两种基板搬送装置。其中的一基板搬送装置(图4、图5中所示的装置)的各搬送带由平带构成，以该搬送带的宽度方向(左右方向)整体来支撑基板的下表面。并且，左右一对的引导部件分别设置在左右的搬送带的外侧，以从搬送带的外侧相夹基板的方式进行引导。这样的基板搬送方式称为“以往例2”。专利文献2中记载的另一基板搬送装置(图1、图2所示的装置)使用附加有引导功能的搬送带进行基板搬送。以下，将该基板搬送装置称为“以往例3”。该以往例3中，以各搬送带中的宽度方向内侧端部来支撑基板的下表面，该内侧端部作为用于搬送基板的搬送部发挥功能。另外，各搬送带中与所述内侧端部(搬送部)相连的宽度方向外侧端部向上方突出，该突出部分通过从外侧约束基板从而作为引导部发挥作用。如此，自以往已有各种的基板搬送方式被提出，但是每一方式的对基板作业装置的适用范围均被限定，因此在基板的厚度方面以及在重量方面存在通用性问题。例如，以往例1中，引导部件以从上方覆盖在搬送带中宽度方向外侧端部的方式设置，存在在该引导部件的下表面和搬送带之间形成朝向基板侧开放的间隙的情况。因此，如果搬送比较薄的基板(权且称为薄基板)，有可能产生薄基板进入上述间隙而该基板被咬住的情形。因此，以往例1所能够搬送的基板被限制于比上述间隙足够厚的基板(权且称为厚基板)。另外，以往例2中，由于以搬送带的宽度方向整体来支撑基板的下表面，因此基板中由搬送带支撑的允许宽度(支撑宽度)受到影响。即，搬送带的宽度须要设定在所述支撑宽度以下，如果基板上安装了元件，则该元件安装面上的支撑宽度变得非常狭窄。此情况下，搬送带的剖面积小，难以确保足够的带强度。因此，如果搬送比较重的基板，则搬送带会延展，从而难以进行准确的基板搬送。此外，还存在带破裂的可能性。因此，以往例2所能够搬送的基板被限制于比较轻的基板。此外，以往例3中，引导基板的引导部以与搬送部相连的状态向上方突出设置。通常，搬送带以具有挠性的材料形成，因此每当引导部在宽度方向上引导基板时会受到来自基板的横向负荷作用。基于横向负荷如此反复作用于引导部，引导部与搬送部相连的部分亦即所谓的根部分会被反复施加剪切力。因此，有可能在引导部的根部分处产生龟裂或产生引导部破裂等不良情况，从而难以进行稳定的基板搬送。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在基板搬送方面具有优异的搬送稳定性并且在基板的厚度及重量方面具有较高的通用性的基板搬送装置、装备了该基板搬送装置的基板作业装置以及适于该基板搬送装置的搬送带。本专利技术一方面所涉及的基板搬送装置是沿指定的搬送方向搬送基板的基板搬送装置，其包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，支撑所述正交方向上的基板的端部；支撑部件，从所述搬送带的下侧支撑该搬送带；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送带包括：带基部，在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑，所述搬送带被设置为，通过所述突出部抵接于所述引导面而限制该搬送带向外侧的位移，所述引导部件包括配置于所述搬送方向上的上游端的第一引导部件和配置于所述第一引导部件的下游侧的第二引导部件，所述第一引导部件具备将搬入的基板推送到所述搬送带上的引导部，所述驱动部包含让所述搬送带挂设的第一带轮，通过旋转驱动该第一带轮，使所述搬送带沿所述搬送方向移动，所述搬送带是在与所述突出部侧相反侧的面上具备多个齿的有齿带，所述第一带轮是在外周面上具备能够与所述搬送带的齿啮合的多个齿的有齿带轮。本专利技术另一方面所涉及的基板作业装置包括：基座；基板搬送部，设置在所述基座上，包括所述基板搬送装置；基板作业部，设置在所述基座上，对由所述基板搬送部搬送至指定的作业位置的基板实施指定的作业。本专利技术再一方面所涉及的搬送带是用于基板搬送装置的搬送带，所述基板搬送装置包括：引导部件，沿基板的搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；所述搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，在支撑所述正交方向上的基板的端部的状态下沿所述搬送方向被驱动；所述搬送带包括带基部和突出部，在该搬送带被组装在所述基板搬送装置中的状态下，所述带基部在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸，所述突出部从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置，从而所述突出部抵接于所述引导面。根据本专利技术，在基板搬送方面可实现优异的搬送稳定性且在基板的厚度及重量方面可实现较高的通用性，即：能够稳定地搬送厚度及重量不同的各种基板。附图说明图1是概略性地表示装备本专利技术的基板搬送装置的一实施方式的基板作业装置的俯视图。图2是基板搬送部的局部放大立体图。图3是表示带有摇摆防止功能的带轮的结构的图。图4是图2的基板搬送部的局部剖视图。图5是示意性地表示搬送带、引导部件以及印刷基板的位置关系的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。图1是概略性地表示装备本专利技术的基板搬送装置的一实施方式的基板作业装置的俯视图。在此，以表面安装机作为基板作业装置例示并说明。另外，为了以下说明的方便，在图1以及之后说明的各图中，显示有XYZ正交坐标轴，即将基于基板搬送装置的基板搬送方向作为“X方向”，将竖直方向作为“Z方向”，并将与X方向(搬送方向X)以及Z方向正交的方向作为“Y方向”。在本例中，Y方向相当于本专利技术的正交方向。表面安装机如同图中所示具有基座1。在该基座1上设置有相当于本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬送装置，沿指定的搬送方向搬送基板，其特征在于包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，支撑所述正交方向上的基板的端部；支撑部件，从所述搬送带的下侧支撑该搬送带；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送带包括：带基部，在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑。

【技术特征摘要】
2012.10.05 JP 2012-2228341.一种基板搬送装置，沿指定的搬送方向搬送基板，其特征在于包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，支撑所述正交方向上的基板的端部；支撑部件，从所述搬送带的下侧支撑该搬送带；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送带包括：带基部，在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑，所述搬送带被设置为，通过所述突出部抵接于所述引导面而限制该搬送带向外侧的位移，所述引导部件包括配置于所述搬送方向上的上游端的第一引导部件和配置于所述第一引导部件的下游侧的第二引导部件，所述第一引导部件具备将搬入的基板推送到所述搬送带上的引导部，所述驱动部包含让所述搬送带挂设的第一带轮，通过旋转驱动该第一带轮，使所述搬送带沿所述搬送方向移动，所述搬送带是在与所述突出部侧相反侧的面上具备多个齿的有齿带，所述第一带轮是在外周面上具备能够与所述搬送带的齿啮合...

【专利技术属性】
技术研发人员：小木曾武，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：