该扩张装置(100)具备在第一位置(P1)处扩张片部件(220)的扩张部(6)、在利用扩张部扩张了片部件的状态下使扩张部在水平方向上从第一位置向第二位置(P2)移动的移动机构(62)及在第二位置处加热片部件的晶片的周围的部分(220b)的松弛而使该松弛收缩的热缩部(10)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及扩张装置，尤其涉及对粘贴有晶片及环状部件的片部件进行扩张的扩张装置。
技术介绍
1、以往，已知有对粘贴有晶片及环状部件的片部件进行扩张的扩张装置。这样的扩张装置例如公开于日本专利第4288392号公报。
2、在上述日本专利第4288392号公报中公开了对粘贴有晶片及包围晶片的环状的框架(环状部件)的粘着片(片部件)进行扩张的扩张装置。该扩张装置具备用于扩张粘着片的伸缩台及框架卡盘。在该扩张装置中，在利用框架卡盘固定了框架的状态下，利用伸缩台将粘着片的粘贴有晶片的部分向上方抬起，由此，粘着片被延展而粘着片被扩张。另外，该扩张装置还具备用于使因扩张而在粘着片产生的粘着片的松弛热缩(加热收缩)的喷射管。在该扩张装置中，通过从喷射管向粘着片的松弛喷射热风来使粘着片的松弛热缩。另外，在该扩张装置中，粘着片的扩张和粘着片的热缩在相同的位置进行。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本专利第4288392号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、然而，在上述日本专利第4288392号公报所记载的扩张装置中，由于将粘着片的扩张和粘着片的热缩在相同的位置进行，所以存在难以容易地确保配置喷射管等与热缩相关的构造的空间这一问题点。
3、本专利技术为了解决如上所述的课题而完成，本专利技术的1个目的在于提供在将片部件扩张并热缩的情况下也能够容易地确保配置与热缩相关的构造的空间的扩张装置。
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p>4、用于解决课题的手段5、为了达成上述目的，本专利技术的一个方面的扩张装置具备：扩张部，在第一位置处扩张晶片环构造的片部件，所述晶片环构造包含晶片、包围晶片的环状部件及粘贴有晶片及环状部件的具有伸缩性的热收缩性的片部件；移动机构，在利用扩张部扩张了片部件的状态下，使扩张部在水平方向上从第一位置向在俯视下与第一位置在水平方向上分离的第二位置移动；及热缩部，在第二位置处加热通过扩张部的扩张而产生的片部件的晶片的周围的部分的松弛而使该松弛收缩。
6、在本专利技术的一个方面的扩张装置中，如上所述，设置：扩张部，在第一位置处扩张粘贴有晶片及环状部件的具有伸缩性的热收缩性的片部件；移动机构，在利用扩张部扩张了片部件的状态下，使扩张部在水平方向上向在俯视下与第一位置在水平方向上分离的第二位置移动；及热缩部，在第二位置处加热片部件的晶片的周围的部分的松弛而使该松弛收缩。由此，能够将片部件的扩张在第一位置进行且将片部件的热缩在从第一位置在水平方向上分离的第二位置进行，因此能够将片部件的扩张和片部件的热缩在独立的位置进行。其结果，在将片部件扩张并热缩的情况下，也能够在第二位置处容易地确保配置与片部件的热缩相关的构造的空间。另外，能够在第二位置处容易地配置高品质的达成所需的构造，因此能够容易地达成更高品质的片部件的热缩。
7、另外，通过将片部件的扩张和片部件的热缩在独立的位置进行，在存在在扩张时将片部件冷却的冷却构造及除去在扩张时产生的飞散物的除去构造等的情况下，也能够在第一位置处确保配置冷却构造及除去构造等的空间。由此，在存在冷却构造及除去构造等的情况下，能够在第一位置处配置高品质的达成所需的冷却构造及除去构造等，因此能够达成更高品质的片部件的扩张。
8、在上述一个方面的扩张装置中，优选的是，热缩部在第二位置处配置于通过移动机构而移动后的扩张部的上方。若这样构成，则能够在第二位置处在能够比较容易地确保空间的扩张部的上方配置热缩部。其结果，能够在第二位置处更容易地配置高品质的达成所需的构造，因此能够更容易地达成高品质的片部件的热缩。
9、在该情况下，优选的是，热缩部构成为能够在第二位置处在不加热片部件的上方位置与加热片部件的下方位置之间在上下方向上移动。若这样构成，则通过使热缩部向上方位置移动，能够以不干涉扩张部的移动的方式使热缩部退避，因此能够容易地进行扩张部的移动。另外，通过使热缩部向下方位置移动，在扩张部向第二位置移动后，能够容易地进行片部件的热缩。
10、在上述一个方面的扩张装置中，优选的是，还具备吸引部，该吸引部配置于第一位置，在利用扩张部扩张片部件时，将因片部件的扩张而从晶片环构造产生的飞散物吸引并除去。若这样构成，则能够将飞散物吸引并除去，因此能够抑制因飞散物向晶片上飞散而产生品质不良。另外，与将飞散物在扩张装置内吹动(吹走)而除去的情况不同，能够抑制飞散物在扩张装置内残留，因此能够抑制因残留于扩张装置内的飞散物再飞散而飞散物向晶片上飞散从而产生品质不良。另外，如上所述，由于能够将片部件的扩张和片部件的热缩在独立的位置进行，所以能够确保配置作为扩张时的除去构造的吸引部的空间。
11、在该情况下，优选的是，吸引部包含环状的吸引部主体和设置于吸引部主体且在飞散物的吸引时与晶片的外缘相向的环状的吸引口。若这样构成，则由于以与容易产生飞散物的晶片的外缘相向的方式设置有吸引部的吸引口，所以能够利用吸引部有效地吸引飞散物。
12、在上述吸引部包含环状的吸引口的结构中，优选的是，环状的吸引口由隔开预定的间隔而配置成环状的多个吸引口构成。若这样构成，则与环状的吸引口由单个吸引口构成的情况相比，能够增大每个吸引口的吸引力，因此能够利用吸引部更有效地吸引飞散物。
13、在还具备上述吸引部的结构中，优选的是，吸引部构成为能够在吸引飞散物的下方位置与不吸引飞散物的上方位置之间在上下方向上移动。若这样构成，则通过使吸引部向上方位置移动，能够以不干涉扩张部的移动的方式使吸引部退避，因此能够容易地进行扩张部的移动。另外，通过使吸引部向下方位置移动，在片部件的扩张时，能够容易地进行飞散物的吸引。
14、在上述一个方面的扩张装置中，优选的是，还具备冷却部，该冷却部配置于第一位置，在利用扩张部扩张片部件时，对片部件进行冷却。若这样构成，则能够在扩张时将片部件冷却而硬化，因此能够抑制由于片部件软所以仅片部件的外周部分伸展、相对于晶片不产生充分的分割力而晶片无法分割。另外，在晶片具有软的薄的膜层(low-k膜及daf(dieattached film：裸片黏结膜)等)的情况下，由于膜层软，所以即使晶片的硅部分通过扩张而被分割，有时膜层也会破裂残留，但若如上述那样构成，则能够在扩张时将膜层冷却而硬化，因此能够抑制膜层破裂残留。另外，如上所述，由于将片部件的扩张和片部件的热缩在独立的位置进行，所以能够确保配置作为扩张时的冷却构造的冷却部的空间。
15、在该情况下，优选的是，移动机构构成为，在不使冷却部从第一位置移动的情况下，与冷却部相独立地使扩张部在水平方向上从第一位置向第二位置移动。若这样构成，则与移动机构构成为使扩张部与冷却部一起移动的情况相比，能够减小移动机构所需的驱动力。其结果，能够将移动机构小型化。
16、在上述一个方面的扩张装置中，优选的是，还具备：收容部，在俯视下配置于与第一位置及第二位置不同的位置，收容多个晶片环构造；及取出部，在俯视下配置于与本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种扩张装置，具备：
2.根据权利要求1所述的扩张装置，其中，
3.根据权利要求2所述的扩张装置，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的扩张装置，其中，
5.根据权利要求4所述的扩张装置，其中，
6.根据权利要求5所述的扩张装置，其中，
7.根据权利要求4～6中任一项所述的扩张装置，其中，
8.根据权利要求1～7中任一项所述的扩张装置，其中，
9.根据权利要求8所述的扩张装置，其中，
10.根据权利要求1～9中任一项所述的扩张装置，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种扩张装置，具备：
2.根据权利要求1所述的扩张装置，其中，
3.根据权利要求2所述的扩张装置，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的扩张装置，其中，
5.根据权利要求4所述的扩张装置，其中，
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木芳邦，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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