化学机械抛光控制系统的远程访问客户端技术方案

本发明专利技术提供一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库，方便工艺人员浏览其权限内全部晶圆加工信息记录。其中，晶圆加工信息数据库由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器上，客户端用于向服务器发送对晶圆加工信息数据库的访问请求，以通过服务器获取访问晶圆加工信息数据库的权限，从而读取本权限内的信息。本发明专利技术的实施例可实现工艺人员远程登录远端的晶圆加工信息数据库，并根据其权限对数据库中的晶圆加工信息数据进行相应的操作，另外，该客户端安全、可靠、高效且操作方便。

【技术实现步骤摘要】
化学机械抛光控制系统的远程访问客户端
本专利技术涉及化学机械抛光
，特别涉及一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端。
技术介绍
化学机械抛光技术（ChemicalMechanicalPlanarization，简称CMP）是当前ULSI时代最广泛使用的全局平坦化技术，也是目前唯一能够对亚微米级器件提供全局平坦化的技术。CMP技术综合了化学抛光和机械抛光的优势，可有效兼顾晶圆表面的局部和全局平坦度，满足了制造特征尺寸更小、金属互连层数更多的芯片的要求。CMP系统针对铜CMP工艺而设计，用于去除晶圆表面多余的铜。在工艺实践中，工艺人员需及时掌握每一片晶圆的工艺信息，包括晶圆编号、工艺时间及其抛光时使用的工艺配方等，用于科学地管理晶圆加工流程。因此，为满足大量信息的记录、保存与查阅，可选择MySQL（一种成熟的开源关系型数据库管理系统）建立并管理一个完善的晶圆加工信息数据库。但是如何保证工艺人员高效可靠方便的远程访问晶圆加工信息数据库是需要解决的一个重要问题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决上述技术问题之一。为此，本专利技术的目的在于提出一种安全、可靠且操作方便的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，该客户端可实现工艺人员远程访问化学机械抛光控制系统的的晶圆加工信息数据库，方便工艺人员浏览其权限内全部的晶圆加工信息记录，并根据其权限对数据库中的晶圆加工信息数据进行相应的操作，以满足工艺人员的需求。为了实现上述目的，本专利技术的实施例提供了一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库，其中，所述晶圆加工信息数据库由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器上，所述客户端负责与所述服务器远程通讯，用于根据工艺人员输入的信息向所述服务器发送对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，以通过所述服务器获取访问所述晶圆加工信息数据库的权限；所述服务器用于接收所述客户端发出的对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，并根据所述访问请求向所述客户端提供相应的服务；所述晶圆加工信息数据库用于记录和保存晶圆的加工信息数据，其管理系统根据所述客户端发送的访问请求对所述晶圆的加工信息数据进行访问控制。根据本专利技术实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，晶圆加工信息数据库运行在服务器上，该客户端根据工艺人员输入的信息，与服务器的远程通讯向服务器发送相应的访问请求，服务器根据该访问请求向客户端提供相应的服务，以使客户端与远端的数据库建立连接，使工艺人员通过客户端可远程访问远端的数据库，并根据其权限查询数据库中有关晶圆加工信息的数据，并可对晶圆加工信息数据进行相关操作，例如修改和删除信息等。该客户端使用方便，开发难度低，且具有安全、可靠以及高效的优点。另外，根据本专利技术上述实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端还可以具有如下附加的技术特征：在一些示例中，所述客户端具有独立的操作界面，具体包括：基本登录界面、参数设置界面和信息浏览窗口。在一些示例中，所述晶圆加工信息数据包括：晶圆编号、工艺时间、晶圆状态及晶圆的工艺配方。在一些示例中，所述客户端用于通过工艺人员在其操作界面输入的信息向所述服务器发送连接指令以建立连接，连接成功后，所述服务器验证所述工艺人员的身份信息，在所述服务器验证所述工艺人员身份正确后，进入所述晶圆加工信息数据库，并进行所述工艺人员权限下的相关操作。在一些示例中，所述工艺人员输入的信息包括：所述服务器的IP地址、所述服务器监听的端口号、所述晶圆加工信息数据库的名称、用户名及密码，其中，所述服务器的IP地址和所述服务器监听的端口号用于所述客户端与所述服务器建立连接，所述晶圆加工信息数据库的名称用于指明工艺人员要求访问的数据库，所述工艺人员的用户名及密码用于所述服务器验证所述工艺人员的身份。在一些示例中，所述工艺人员权限下的相关操作的内容包括：查询、修改和删除信息。在一些示例中，所述客户端的工作流程包括：（1）登录所述晶圆加工信息数据库，（2）数据操作，（3）退出所述晶圆加工信息数据库，其中，退出所述晶圆加工信息数据库后，所述客户端还用于关闭其操作界面并断开与所述服务器的连接，释放所述客户端进程。在一些示例中，所述客户端还用于在获取到需要的数据后，对所述数据进行信息的显示和组合，以方便工艺人员的后续操作。在一些示例中，所述化学机械抛光控制系统的远程访问客户端内部利用Qt提供的数据库访问接口，开发时，需要编译所述晶圆加工信息数据库的MySQL数据库驱动，并以插件的形式应用，在创建数据库连接时应完成以下3个操作：激活驱动程序，设置连接信息，打开连接；在数据库连接成功后，所述客户端使用标准的结构化查询语言对数据库进行查询、删除和添加等常规操作。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为根据本专利技术一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端和服务器的通讯示意图；图2为根据本专利技术一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端连接晶圆加工信息数据库的步骤示意图；以及图3为根据本专利技术一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端访问流程示意图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。以下结合附图描述根据本专利技术实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端。图1为根据本专利技术一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端和服务器的通讯示意图。如图1所示，根据本专利技术一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端110，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库130，方便工艺人员浏览其权限内全部晶圆加工信息记录，其中，在一个具体示例中，晶圆加工信息数据库130由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器120上。具体而言，客户端110与服务器120远程通讯，客户端110用于根据工艺人员输入的信息向服务器120发送对晶圆加工信息数据库130的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库，其中，所述晶圆加工信息数据库由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器上，其特征在于，所述客户端与所述服务器远程通讯，用于根据工艺人员输入的信息向所述服务器发送对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，以通过所述服务器获取访问所述晶圆加工信息数据库的权限；所述服务器用于接收所述客户端发出的对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，并根据所述访问请求向所述客户端提供相应的服务；所述晶圆加工信息数据库用于记录和保存晶圆的加工信息数据。

【技术特征摘要】
1.一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库，其中，所述晶圆加工信息数据库由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器上，其特征在于，所述客户端与所述服务器远程通讯，根据工艺人员输入的信息向所述服务器发送对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，以通过所述服务器获取访问所述晶圆加工信息数据库的权限，所述客户端具有独立的操作界面，具体包括：基本登录界面、参数设置界面和信息浏览窗口，所述工艺人员输入的信息包括：所述服务器的IP地址、所述服务器监听的端口号、所述晶圆加工信息数据库的名称、所述工艺人员的用户名及密码，其中，所述服务器的IP地址和所述服务器监听的端口号用于所述客户端与所述服务器建立连接，所述晶圆加工信息数据库的名称用于指明工艺人员要求访问的数据库，所述工艺人员的用户名及密码用于所述服务器验证所述工艺人员的身份，其中，所述客户端用于通过工艺人员在其操作界面输入的信息向所述服务器发送连接指令以建立连接，连接成功后，所述服务器验证所述工艺人员的身份信息，在所述服务器验证所述工艺人员身份正确后，进入所述晶圆加工信息数据库，并进行所述工艺人员权限下的相关操作，并在获取到需要的数据后，对所述数据进行信息的显示和组...

【专利技术属性】
技术研发人员：路新春，李弘恺，田芳馨，王同庆，赵乾，何永勇，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：