一种砷化镓多晶无液封合成装置制造方法及图纸

技术编号:9853307 阅读:107 留言:0更新日期:2014-04-02 17:37
本发明专利技术提供一种砷化镓多晶无液封合成装置,包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统,石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元,保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶,加热单元包括电极、加热器和外围温控电路,合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部,加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部,合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚,其特征在于,所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元,运动单元与合成单元、合成炉体相连接;石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。

【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓多晶无液封合成装置
本专利技术涉及一种砷化镓多晶的合成装置,尤其是涉及一种砷化镓多晶的无液封接合成装置。
技术介绍
随着科技的发展和进步,半导体材料愈来愈多地应用在光电器件中,例如砷化镓多晶等材料,而砷化镓多晶等材料需要合成,目前现有的砷化镓多晶的合成工艺存在着众多缺陷和不便,合成 的砷化镓多晶结晶性不好并且成品率较低。因此,寻找一种能够避免以上缺陷的无液封接合成装置成为目前最为迫切的需要。
技术实现思路
本专利技术提供一种砷化镓多晶无液封合成装置,包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统,石墨系统包括保温单兀、加热单兀和合成单兀,保温单兀包括石墨保温罩和石墨保温桶,加热单元包括电极、加热器和外围温控电路,合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部,加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部,合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚,其特征在于,所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元,运动单元与合成单元、合成炉体相连接;石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。【具体实施方式】下面结合具体实施例,进一步阐述本专利技术。应理解,这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。此外应理解,在阅读了本专利技术讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本专利技术作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。该砷化镓多晶无液封合成装置,包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统,石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元,保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶,加热单元包括电极、加热器和外围温控电路,合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部,加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部,合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚,其特征在于,所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元,运动单元与合成单元、合成炉体相连接;石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种砷化镓多晶无液封合成装置,包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统,石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元,保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶,加热单元包括电极、加热器和外围温控电路,合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部,加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部,合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚,其特征在于,所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元,运动单元与合成单元、合成炉体相连接;石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。

【技术特征摘要】
1.一种砷化镓多晶无液封合成装置,包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统,石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元,保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶,加热单元包括电极、加热器和外围温控电路,合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴联顺
申请(专利权)人:青岛永通电梯工程有限公司
类型:发明
国别省市:山东;37

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