【技术实现步骤摘要】
双芯过滤装置
本技术属于晶体生长设备
，更具体的说是一种双芯过滤装置。
技术介绍
目前，配合MOCVD的水路过滤器为Y型过滤器，滤芯为圆筒形网筛，与水路直接连接，在水路过滤器出现异常需要维修或更换滤芯时，MOCVD设备必须停机，浪费生产时间，降低了生产效率，增加了生产成本，而且常常影响产品质量，导致产品质量不稳定。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种维修或更换滤芯无需停机、可有效提高生产效率、降低生产成本的双芯过滤装置，其具体方案为:所述的双芯过滤装置由辅水阀、主水阀、主过滤器、后端水阀、辅过滤器组成，其特征是主过滤器的前端设置主水阀，主过滤器的后端设置后端水阀，辅过滤器与主过滤器并联设置，辅过滤器的前端设置辅水阀。本技术所述的主过滤器，其特征在于主过滤器的壳体采用不锈钢，主过滤器的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05 U IHo本技术所述的辅过滤器，其特征在于辅过滤器的壳体采用不锈钢，辅过滤器的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05 U IHo本技术的有益效果是双芯过滤装置在维修或更换滤芯无需停机，可有效提高生产效率，降低生产成本。...
【技术保护点】
双芯过滤装置，由辅水阀（1）、主水阀（2）、主过滤器（3）、后端水阀（4）、辅过滤器（5）组成，其特征是主过滤器（3）的前端设置主水阀（2），主过滤器（3）的后端设置后端水阀（4），辅过滤器（5）与主过滤器（3）并联设置，辅过滤器的（5）前端设置辅水阀（1）。
【技术特征摘要】
1.双芯过滤装置，由辅水阀(I)、主水阀(2)、主过滤器(3)、后端水阀(4)、辅过滤器(5)组成，其特征是主过滤器(3)的前端设置主水阀(2)，主过滤器(3)的后端设置后端水阀(4)，辅过滤器(5)与主过滤器(3)并联设置，辅过滤器的(5)前端设置辅水阀(I)。2.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：王超，赵海标，张继友，
申请(专利权)人：冠铨山东光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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