LED行业用超精细清洗抛光液制造技术

一种LED行业用超精细清洗抛光液：10-15%椰子油酰二乙醇胺；金刚石颗粒，且所述金刚石颗粒为50~60nm；Fe<20ppm，且Zn<0.01ppm；且所述抛光液的密度为1.2kg/m3，pH值为11~12，固体含量30%，其能够抛光LED的衬底，且抛光效率高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于LED电子行业，特别是对LED进行超精细清洗的抛光液。
技术介绍
作为电子行业的一个重要分支，LED产业近年来得到了飞速的发展。LED能使发光效率提高近10倍，寿命是传统灯具的20倍以上，兼有绿色、环保等优点。由于其高效、环保的产品得到了市场的广泛认可和追捧。其中作为LED产品的核心和附加值最大的部分，底衬材料对LED光源的稳定性和寿命起到重要的决定作用。也是我国在LED产业发展的重要方向。目前能用于商品化的衬底只有两种，即蓝宝石和碳化硅衬底。目前全球80%LED企业采用蓝宝石衬底，具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，强度高、硬度大、耐冲刷，可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作。但在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。较为常见的处理手段，类似于对普通电子产品中的化学机械抛光（CMP）工艺。该工艺对硅等半导体材料较为流行和有效，但蓝宝石的硬度极高，普通磨料难以对其进行加工。在对蓝宝石衬底表面进行减薄和粗磨后，表面不可避免的有一些或大或小的划痕。我国蓝宝石底片的加工工艺中所使用的抛光液、抛光垫基本依赖进口，价格昂贵使得硅片抛光成本较高．因此，研究自主抛光液对降低国内硅抛光成本有着积极意义。提高抛光速率的同时保证表面平整度以满足工业上对蓝宝石抛光速率和平整度的要求。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种LED行业用超精细清洗抛光液，其含有：10-15%椰子油酰二乙醇胺；金刚石颗粒，且所述金刚石颗粒为50~60nm；Fe<20 ppm，且Zn<0.01 ppm；且所述抛光液的密度为1.2kg/m3，pH值为11~12，固体含量30%。本专利技术采用是一种金刚石颗粒的抛光剂，能够将LED衬底的蓝宝石有效的研磨、去污和抛光，同时其颗粒达到微米级，很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。具体实施方式本专利技术提供一种LED行业用超精细清洗抛光液，其含有：10-15%椰子油酰二乙醇胺；金刚石颗粒，且所述金刚石颗粒为50~60nm；Fe<20 ppm，且Zn<0.01 ppm；且所述抛光液的密度为1.2kg/m3，pH值为11~12，固体含量30%。本专利技术采用是一种金刚石颗粒的抛光液，其具有较高的硬度，经混合成为抛光液后能够对LED工业中的蓝宝石有效的研磨、去污和抛光，同时其颗粒达到微米级，很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。作为本专利技术的优选方案，所述金刚石颗粒为聚多晶纳米金刚石颗粒。配合高分散性配方，如本专利技术中的10~15%椰子油酰二乙醇胺，可以在保持高切削率的同时，不易对研磨材料产生划伤。作为本专利技术的另一实施例，所述抛光液通过NaOH进行调整，以控制其所述抛光液的pH值为11。作为碱性制剂，其对材质腐蚀小，属于抛光非金属，特别是硅等氧化物及光阻材料。同时由于呈碱性，材质的原子和分子间结合力减弱，容易被去除，抛光效率高。作为本专利技术的一个优选实施例，所述抛光液被用于抛光LED的蓝宝石衬底。其对蓝宝石抛光效率和质量都可以得到保障。作为另一专利技术改进，所述抛光液中还具有1%的缓蚀剂。用以对抛光材料进行保护，并进而提高抛光效率。应了解本专利技术所要保护的范围不限于非限制性实施方案，应了解非限制性实施方案仅仅作为实例进行说明。本申请所要要求的实质的保护范围更体现于独立权利要求提供的范围，以及其从属权利要求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LED行业用超精细清洗抛光液，其含有：10?15%椰子油酰二乙醇胺；金刚石颗粒，且所述金刚石颗粒为50~60nm；Fe<20?ppm，且Zn<0.01?ppm；且所述抛光液的密度为1.2kg/m3，pH值为11~12，固体含量30%。

【技术特征摘要】
1.一种LED行业用超精细清洗抛光液，其含有：
10-15%椰子油酰二乙醇胺；
金刚石颗粒，且所述金刚石颗粒为50~60nm；
Fe<20 ppm，且Zn<0.01 ppm；
且所述抛光液的密度为1.2kg/m3，pH值为11~12，固体含量30%。
2.如权利要求1所述的抛光液...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏泽军，
申请(专利权)人：昆山宏凌电子有限公司，
类型：发明
国别省市：