【技术实现步骤摘要】
晶盒传输装置
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶盒传输装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，晶圆均存放在密封的晶盒中，避免对晶圆造成一定的伤害，同时也能方便运输晶圆和管理晶圆。在现有晶圆制造厂中，往往会有一些自动传输晶盒的装置，一方面用于节省人力，另一方面便于实现自动化生产。请参考图1，现有技术中晶盒传输装置包括:传输座22和置放板21，所述置放板21固定在所述传输座22上，晶盒10放置在所述置放板21上，由于置放板21带有凹槽，所述晶盒10放置在凹槽内；当传输座22开始运输时，所述晶盒10随着所述传输座22传输，直至运输至目的地。然而随着晶盒传输装置的老化，例如电压不稳、马达出现卡顿现象、轴杆损坏老化甚至螺丝松动等原因，均会造成在运输过程中传输座22发生抖动，从而容易导致所述晶盒10脱落，致使存放在晶盒10内的晶圆受损，甚至报废。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶盒传输装置能够卡紧晶盒，避免在传输过程中晶盒脱落。为了实现上述目的，本技术提出一种晶盒传输装置，用于传输晶盒，所述晶盒传输装置包括:传输座、置放板以及若干锁爪；其中，所述置放板固定于所述传输座上，所述锁爪固定于所述置放板的边缘。进一步的，所述置放板为四边形板。进一步的，所述锁爪为两个，分别固定在所述置放板两个平行的边缘。进一步的，所述锁爪为四个，分别固定在所述置放板四个的边缘。[0011 ] 进一步的，所述锁爪为电动锁爪。进一步的，所述锁爪为气动锁爪。进一步的，所述晶盒传输装置还包括气缸，放置在所述传输座内部，并与所述锁爪相连。进一步的，所述锁爪为方形薄片状。进一步的，所述锁爪的长...
【技术保护点】
一种晶盒传输装置，用于传输晶盒，其特征在于，所述装置包括：传输座、置放板以及若干锁爪；其中，所述置放板固定于所述传输座上，所述锁爪固定于所述置放板的边缘。
【技术特征摘要】
1.一种晶盒传输装置，用于传输晶盒，其特征在于，所述装置包括: 传输座、置放板以及若干锁爪；其中，所述置放板固定于所述传输座上，所述锁爪固定于所述置放板的边缘。2.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述置放板为四边形板。3.如权利要求2所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪为两个，分别固定在所述置放板两个平行的边缘。4.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪为四个，分别固定在所述置放板四个的边缘。5.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：何崇敏，沈建飞，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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