测量干燥率的设备及使用该设备测量干燥率的方法技术

本发明专利技术提供一种测量干燥率的设备及使用该设备测量干燥率的方法，以测量用于制造电子设备的基板材料的干燥率，测量干燥率的设备包括：支撑部分，在所述支撑部分上安放基板；标记部分，设置在基板上方同时能够竖直和水平地运动，并在与基板接触的同时在基板上形成标记。

【技术实现步骤摘要】
本申请要求于2012年8月9日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0087384号韩国专利申请的优先权，该申请公开的内容通过引用被包含于此。
本专利技术涉及一种，更具体地讲，涉及一种测量用于制造电子装置的基板材料的干燥率的设备及使用该设备测量干燥率的方法。
技术介绍
通常，通过在由诸如树脂的绝缘材料形成的板状表面上层叠铜箔，并基于电路的设计在层叠的铜箔上执行诸如图案印刷、蚀刻等的工艺，印刷电路板(PCB)设置有布线图案。可通过层叠绝缘膜的增层工艺(build-up process)和形成布线图案的图案形成工艺来制造电路板。此外，用于电路板的绝缘膜可通过利用模制装置在载体层上涂覆原料的工艺、去除残留在绝缘膜中的溶剂的干燥工艺等而形成。由于仅通过绝缘膜的溶剂含量的小变化，绝缘膜的溶剂含量(S卩，绝缘膜的干燥率)就会导致若干质量缺陷，例如，在产品中出现未涂覆部分、由于高粘合特性导致褶皱缺陷等，因此，绝缘膜的干燥率用作评价最终产品的质量的主要因素。此外，绝缘膜的干燥率显著影响封装基板的后续工艺、制造效率、可靠性等。然而，就现有技术而言，由于通过工人利用肉眼或者经由触觉感知来确定绝缘膜的干燥率，所以确定绝缘膜的干燥率的基准会非常主观。因此，会在许多工人之间产生测量误差，并且会使测量可靠性降低。[现有技术文件](专利文件I)第1997-0049045号韩国专利特许公开
技术实现思路
本专利技术的一方面提供一种测量干燥率的设备，该设备能够精确而有效地测量基板的干燥率。本专利技术的另一方面提供一种测量干燥率的设备，该设备通过客观地使基板的干燥率数字化而自动地管理干燥率。本专利技术的另一方面提供一种测量干燥率的方法，该方法能够精确而有效地测量基板的干燥率。根据本专利技术的一方面，提供一种测量干燥率的设备，所述设备包括:支撑部分，在所述支撑部分上安放基板；标记部分，设置在基板上方同时能够竖直和水平地运动，并在与基板接触的同时在基板上形成标记。所述标记部分可包括:辊部分，与基板接触；驱动部分，使辊部分竖直和水平地运动。所述辊部分可包括:辊，被形成为具有圆柱形形状；框架，结合到辊，从而形成辊的旋转轴。在所述辊的外表面上可形成有多个台阶，标记可通过所述台阶而形成。所述辊的所述台阶可以以阶梯式形成，使得所述台阶的外径朝着所述辊的中央减小。所述辊的所述台阶可被形成为在所述台阶之间具有相同的间隔。所述辊可包括:重量调节部分，被形成为具有圆柱管形状；台阶调节部分，结合到重量调节部分的外表面并由具有不同尺寸的多个环形成。所述重量调节部分可包括多个重量调节部分，所述多个重量调节部分具有相同的形状和不同的重量，并对应于基板的特性被选择性地结合到台阶调节部分。所述台阶调节部分可结合到重量调节部分，使得台阶调节部分的环彼此隔开预定距离。所述设备还可包括控制部分，所述控制部分基于形成在基板上的标记的形状确定基板的干燥率。所述设备还可包括成像部分，所述成像部分使形成在基板上的标记的形状成像，并将关于成像的标记的图像数据发送到控制部分。所述控制部分可通过标记的形状来检测标记的深度，并可基于标记的深度确定基板的干燥率。根据本专利技术的另一方面，提供一种测量干燥率的方法，所述方法包括下述步骤:将基板安放在支撑部分上；在辊接触基板的同时形成标记；基于所述标记确定基板的干燥率。形成标记的步骤可包括:将外表面上形成有多个台阶的辊安放在基板上；使所述辊在基板上滚动运动。所述方法还可包括下述步骤:在形成标记之后，使所述标记成像，以获得关于所述标记的图像数据。在确定基板的干燥率的步骤中，可将标记的图像数据与预设数据进行比较，来测量干燥率。在确定基板的干燥率的步骤中，可通过关于标记的图像数据来检测标记的深度，可将标记的深度与预设数据进行比较，来测量干燥率。在确定基板的干燥率的步骤中，在标记的整个区域中，可基于基板的除了安放辊的部分以外的剩余部分执行所述确定。【附图说明】通过下面结合附图进行的详细描述，本专利技术的上述和其他方面、特点及其他优点将会被更加清楚地理解，在附图中:图1是示意性地示出根据本专利技术的实施例的测量干燥率的设备的透视图；图2是图1中示出的辊部分的截面图；图3是示意性地示出根据本专利技术的实施例的测量干燥率的方法的流程图；图4是示出图1的侧部的侧视图；图5A至图5C是用于描述在根据本专利技术的实施例的测量干燥率的方法中确定基板的干燥率的过程的视图；图6是示意性地示出根据本专利技术的另一实施例的测量干燥率的设备的辊的分解透视图；图7是示意性地示出根据本专利技术的另一实施例的测量干燥率的设备的辊的截面图。【具体实施方式】在下文中，将参照附图详细描述本专利技术的实施例。然而，本专利技术可以以多种不同的形式实施，并且不应该被解释为限于在此阐述的实施例。相反，提供这些实施例以使本公开将是彻底的和完整的，并将把本专利技术的范围充分传达给本领域技术人员。在附图中，为了清楚起见，可能会夸大元件的形状和尺寸，并且相同的标号将始终用于指示相同或相似的元件。图1是示意性地示出根据本专利技术的实施例的测量干燥率的设备的透视图。图2是图1中不出的棍部分的截面图。参照图1和图2,测量干燥率的设备100可包括支撑部分110、标记部分130、成像部分140和控制部分150。支撑部分110可支撑预定的基板10。具体地讲，支撑部分110可以以具有平坦表面的夹具的形式形成，用于支撑诸如绝缘基板的基板10。标记部分130可在设置于支撑部分110上的基板10 (诸如，绝缘基板)上形成标记。为此，标记部分130可包括辊部分131和驱动部分139。辊部分131可包括辊132和框架138。辊132可被形成为以圆柱管的方式延长，并可围绕作为旋转轴G的中心轴旋转。如图2所示，在辊132的外表面上可形成有多个台阶。这里，所述多个台阶可被形成为使得台阶的高度朝着圆柱形的棍132的两端增加,并朝着圆柱形的棍132的中央减小。即，辊132的台阶以阶梯式形成，使得台阶的外径在辊132的两端处最大，并且台阶的外径朝着辊132的中央减小。形成在辊132上的台阶之间可具有相同的间隔H (S卩，在竖直方向上的间隔H相同)。例如，台阶之间在竖直方向上的间隔可以是几纳米至几微米。此外，台阶与相邻的台阶之间的宽度W也可被形成为具有相同的宽度。辊132的台阶被设置为在基板10上形成标记。即，当将辊132安放于基板10上时，由于辊132的重量而在基板10上形成由台阶产生的标记。[0051 ] 这里，根据基板10的干燥率，标记可以以不同的方式形成。即，当基板10完全干燥时，即使在辊132被安放于基板10上的情况下，也不会在基板10上形成标记。另一方面，在过量的溶剂残留在基板10上的情况下，可通过辊132的台阶而在基板10上形成多级台阶标记。同时，为了更加准确地形成标记，可在辊132的外表面(即，与基板10接触的接触表面)上形成允许更加清楚地识别标记的材料(例如，彩色染料等)。框架138可插入到辊132中并可支撑辊132，使得辊132被框架138可旋转地支撑。即，框架138可构成辊132的旋转轴G，并可连接到下面描述的驱动部分139。驱动部分139可允许辊132转移。具体地讲，驱动部分139可连接到框架138，并可执行将辊132安放于基板10上或者允许辊132与基板10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量干燥率的设备，所述设备包括：支撑部分，在所述支撑部分上安放基板；标记部分，设置在基板上方且能够竖直和水平地运动，并在与基板接触的同时在基板上形成标记。

【技术特征摘要】
2012.08.09 KR 10-2012-00873841.一种测量干燥率的设备，所述设备包括: 支撑部分，在所述支撑部分上安放基板； 标记部分，设置在基板上方且能够竖直和水平地运动，并在与基板接触的同时在基板上形成标记。2.如权利要求1所述的设备，其中，所述标记部分包括: 辊部分，与基板接触； 驱动部分，使辊部分竖直和水平地运动。3.如权利要求2所述的设备，其中，所述辊部分包括: 辊，被形成为具有圆柱形形状； 框架，结合到辊，从而形成辊的旋转轴。4.如权利要求3所述的设备，其中，在所述辊的外表面上形成有多个台阶，标记通过所述台阶而形成。5.如权利要求4所述的设备，其中，所述辊的所述台阶以阶梯式形成，使得所述台阶的外径朝着所述辊的中央减小。6.如权利要求5所述的设备，其中，所述辊的所述台阶被形成为在所述台阶之间具有相同的间隔。7.如权利要求3所述的设备，其中，所述辊包括:` 重量调节部分，被形成为具有圆柱管形状； 台阶调节部分，结合到重量调节部分的外表面并由具有不同尺寸的多个环形成。8.如权利要求7所述的设备，其中，所述重量调节部分包括多个重量调节部分，所述多个重量调节部分具有相同的形状和不同的重量，并对应于基板的特性被选择性地结合到台阶调节部分。9.如权利要求7所述的设备，其中，所述台阶调节部分结合到重量调节部分，使得...

【专利技术属性】
技术研发人员：田喜善，赵在春，张钟允，申东周，金成贤，李春根，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：