拉出装置以及保存装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够提高作业性的拉出装置以及保存装置。拉出装置（1）具备：支承部（2a、2b），其在货架（134）收容有FOUP（120）的状态下被插入FOUP（120）的下方的间隙并固定于货架（134）；以及抬升部（4a、4b），以在能够插入间隙的第一高度位置与比第一高度位置高且能够将FOUP（120）抬升的第二高度位置进行切换的方式设于支承部（2a、2b），且在第二高度位置能够将FOUP（120）朝货架（134）的前方滑动。

Pull out device and storage device

The invention provides a pulling device capable of improving workability and a storage device. Pull out device (1) includes support (2a, 2b), the shelf (134) containing a FOUP (120) under the condition of FOUP (120) is inserted into the gap below and fixed on the shelf (134); and uplift (4a, 4b), the Ministry in the first position to insert the gap with than the first height position is high and can be FOUP (120) is arranged on the supporting part of the switching mode of the second lifting height position (2a, 2b), and the position of the height can be second FOUP (120) to (134) in front of the sliding shelf.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】拉出装置以及保存装置
本专利技术涉及手动将保存于保存装置的货物拉出的拉出装置以及具备该拉出装置的保存装置。
技术介绍
对收容了半导体晶圆的FOUP (Front-Opening Unified Pod)进行保存的保存装置利用移载装置进行FOUP在用于出入库的出入口与货架之间的移载。在具备该移载装置的保存装置中，在由于移载装置的运转发生故障等而无法进行的情况下，变为通过人手来进行FOUP的移载，但随着近年来半导体晶圆的大径化，FOUP也在变得大型化且重型化，因此通过人手来搬运FOUP变得困难。于是，例如专利文献I所记载的保存装置除了移载装置还具备能够以手动来操作的手动输送装置。该手动输送装置具备能够抓持FOUP的凸缘的抓持部、与抓持部相连结的输送带、将输送带卷起的提升机部以及以能够滑动的方式设于保存装置内的顶棚的滑动部，在无法使用移载装置的情况下，手动进行对FOUP的输送。专利文献1:日本特开2011-1149号公报上述保存装置的手动输送装置虽然需要在FOUP的凸缘安装抓持部，但将抓持部插入到FOUP与货架间的狭窄的间隙中的作业并不容易进行。因此，对于通过手动输送FOUP而言，希望进一步改善其作业性。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而做出的，其目的在于提供一种能够提高作业性的拉出装置以及保存装置。本专利技术所涉及的拉出装置是在具备供货物经由朝前方开口的开口部被放入取出的多个货架的保存装置中，用于经由开口部将货物从货架朝前方拉出的拉出装置，其特征在于，具备:支承部，其在货架收容有货物的状态下被插入货物的下方的间隙并固定于货架；以及抬升部，其以能够在能够插入间隙的第一高度位置与比第一高度位置高且能够将货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于支承部，且在第二高度位置能够将货物朝货架的前方滑动。该拉出装置具备插入在货物下方的间隙且固定于货架的支承部以及能够在第一高度位置与第二高度位置进行切换的抬升部。抬升部在第一高度位置能够与支承部一起插入狭窄的间隙，能够容易地将支承部固定于货架。并且，通过固定支承部并将抬升部切换到第二高度位置，从而能够将货物抬起并滑至货架的跟前再将货物拉出。于是，该拉出装置由于能够容易地设置在货架与货物之间的狭窄的间隙中，因此无需例如在狭窄的间隙中安装抓持部的作业，从而实现作业性的提高。优选，货架设有定位销，该定位销在收容货物时插入设在货物底部的定位孔，第二高度位置是从定位孔中拔出定位销的位置。货物由设于货架的定位销定位，且其朝向前后左右方向的移动也被限制。为了将货物从这样的货架上抬起，通过将第二高度位置设为从定位孔中拔出定位销的位置，从而能够可靠地将货物从设有定位销的货架中拉出。支承部以及抬升部为长条状的部件，支承部与抬升部以抬升部能够在第一高度位置与第二高度位置之间切换的方式由连杆机构连结。根据这样的构成，抬升部借助连杆机构以接近或远离支承部的方式移动，从而能够在第一高度位置与第二高度位置进行切换。因此，不仅易于进行操作且能够确保运转的可靠性。支承部以及抬升部为长条状的部件，抬升部沿限制其在第一高度位置与第二高度位置之间的移动的引导部移动，在支承部以及抬升部中的至少一方设有将抬升部在第一高度位置和第二高度位置之间进行切换的凸轮部。根据这样的构成，由于抬升部沿引导部移动，因此能够正确地进行第一高度位置与第二高度位置的切换。并且，借助凸轮部，使得抬升部的高度位置的切换能够适宜进行。支承部为长条状的部件，被设置为能够以轴为中心转动，抬升部的截面呈大致椭圆形状，与支承部一体地设置，第一高度位置是抬升部的截面的长轴与水平方向大致一致的状态，第二高度位置是抬升部的截面的长轴与铅直方向大致一致的状态。根据这样的构成，通过使支承部转动的操作，能够使抬升部容易地在第一高度位置以及第二高度位置之间进行切换。并且，由于支承部与抬升部形成为一体，从而能够形成为简单的构造并提高耐久性。本专利技术所涉及的保存装置的特征在于，具备:框体；在框体中具备的多个货架，在所述货架上，货物经由朝前方开口的开口部被放入取出；进行货物出入库的出入口 ；在货架与出入口之间移载货物的移载装置以及用于经由开口部将货物从货架朝前方拉出的拉出装置，拉出装置具备:支承部，其在货架收容有货物的状态下被插入货物的下方的间隙并固定于货架；以及抬升部，其以能够在能够插入间隙的第一高度位置与比第一高度位置高且能够将货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于支承部，且在第二高度位置能够将货物朝货架的前方滑动。该保存装置具备拉出装置。拉出装置具备插入在货物下方的间隙且固定于货架的支承部以及能够在第一高度位置与第二高度位置进行切换的抬升部。抬升部在第一高度位置也能够与支承部一起插入狭窄的间隙，能够容易地将支承部固定于货架。并且，通过固定支承部并将抬升部切换到第二高度位置，从而能够将货物抬起并滑至货架的跟前再将货物拉出。因此，即使在移载装置不动作的情况下，也能够从货架上容易地拉出货物。所以，在该拉出装置中，由于能够容易地设置在货架与货物之间的狭窄的间隙中，因此无需例如在狭窄的间隙中安装抓持部的作业，从而实现作业性的提高。并且，由于拉出装置能够插入至货架的下方的狭窄的间隙，因此能够将货架间彼此的间隔设定为在货物被抬升时与上方的货架不抵接的程度。因此，与以往相比不需要确保用于插入抓持部的空间，从而能够提高保存装置中的货物的收纳效率。更优选具备能够手动操作的输送装置，该输送装置具有能够抓持货物的抓持部、进行与抓持部连结的输送带的释放以及卷起的提升机部以及供提升机部配置且沿铺设在框体的上部的轨道移动的移动部。由此，由于具备能够手动操作的输送装置，因此能够容易地将通过拉出装置取出的货物输送至框体外部或出入口。因此，能够进一步提高作业性并实现输送时间的缩短。根据本专利技术，提高了保存装置中货物取出的作业性。【附图说明】图1是示出具备一实施方式所涉及的保存装置的输送系统的外观的立体图。图2是简要示出图1所示的保存装置的内部构造的剖面图。图3是示出货架的放置部以及固定部的图。图4是从下方观察第一实施方式所涉及的拉出装置的立体图。图5是将支承部固定于固定部的状态局部放大表示的图。图6是示出横向部件的构成的立体图。图7是用于说明支承部的安装的图。图8是从横向观察货架上安装有拉出装置的状态的图。图9是从上方观察货架上安装有拉出装置的状态的图。图10是用于说明拉出装置的动作的图。图11是示出第二实施方式所涉及的拉出装置的图。图12是从横向观察货架上安装有拉出装置的状态的图，图13是用于说明拉出装置的动作的图。图14是示出变形例所涉及的拉出装置的图。图15是示出变形例所涉及的拉出装置的图。【具体实施方式】以下，参照附图对适宜的实施方式进行详细说明。另外，在附图的说明中对相同或相当的元件标记相同的附图标记，并省略重复的说明。[输送系统]图1是示出具备一实施方式所涉及的保存装置的输送系统的外观的立体图。图2是简要示出图1所示的保存装置的内部构造的剖面图。如图1以及图2所示，除了具备运载器102、储物箱104以及用于运载器运行的轨道R1，输送系统100还具备作为控制系的输送指示部106、运载器控制器108以及储物箱控制器110。输送系统100根据半导体元件制造中的输送时间表，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拉出装置，其在具备供货物经由朝前方开口的开口部被放入取出的多个货架的保存装置中，用于经由所述开口部将所述货物从所述货架朝前方拉出，该拉出装置的特征在于，具备：支承部，其在所述货架收容有所述货物的状态下被插入所述货物的下方的间隙并固定于所述货架；以及抬升部，其以能够在能够插入所述间隙的第一高度位置与比所述第一高度位置高且能够将所述货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于所述支承部，且在所述第二高度位置能够将所述货物朝所述货架的前方滑动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.05.31 JP 2011-1218591.一种拉出装置，其在具备供货物经由朝前方开口的开口部被放入取出的多个货架的保存装置中，用于经由所述开口部将所述货物从所述货架朝前方拉出，该拉出装置的特征在于，具备: 支承部，其在所述货架收容有所述货物的状态下被插入所述货物的下方的间隙并固定于所述货架；以及 抬升部，其以能够在能够插入所述间隙的第一高度位置与比所述第一高度位置高且能够将所述货物抬升的第二高度位置进行切换的方式被设于所述支承部，且在所述第二高度位置能够将所述货物朝所述货架的前方滑动。2.根据权利要求1所述的拉出装置，其特征在于， 所述货架设有定位销，该定位销在收容所述货物时插入设在所述货物的底部的定位 孔， 所述第二高度位置是从所述定位孔中拔出所述定位销的位置。3.根据权利要求1或2所述的拉出装置，其特征在于， 所述支承部以及所述抬升部为长条状的部件， 所述支承部与所述抬升部，以所述抬升部能够在所述第一高度位置与所述第二高度位置进行切换的方式，通过连杆机构连结。4.根据权利要求1或2所述的拉出装置，其特征在于， 所述支承部以及所述抬升部为长条状的部件， 所述抬升部沿引导部移动，所述引导部限制所述抬升部在所述第一高度位置与所述第二高度位置之间的移动， 在所述支承部以及所述抬升部中的至少一方设有将所述抬升部在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：安达成人，伊藤靖久，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：
国别省市：