体声波谐振器制造技术

提供了一种体声波谐振器（BAWR）。BAWR可以包括设置在基底上的空气空腔、包括压电层的体声波谐振单元以及反射从压电层产生的谐振频率的波的反射层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】体声波谐振器
下面的描述涉及一种体声波谐振器(BAWR)。
技术介绍
体声波谐振器(BAWR)可以通过设置在压电层之上和/或之下的电极来操作。响应于施加到电极的高频信号，压电层会振动。结果，可以操作BAWR。BAWR可以用于无线信号传输，例如，用作无线通信装置、无线发射器、无线传感器的滤波器、发射器、接收器、双工器(duplexer)等。作为另一示例，BAWR可以用于无线数据的输入和输出。存在多种类型的用于不同目的的无线通信装置。通常被认为是有线装置的无线装置的数量已经快速增加。因此，期望进行对于以低功率和高速度操作的射频(RF)装置的研究，以消耗更少的能量并节约资源。
技术实现思路
技术方案在一个方面，提供了一种体声波谐振器(BAWR)，所述BAWR包括:体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在第一电极和第二电极之间的压电层；以及反射层，反射由于施加到第一电极和第二电极的信号而从压电层产生的谐振频率。BAWR还可包括基底和设置在基底上方的空气空腔，其中，反射层设置在空气空腔上并且设置在体声波谐振单元下方。反射层可以包括:第一反射层，设置在体声波谐振单元下方；以及第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种体声波谐振器（BAWR），所述BAWR包括：体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在第一电极和第二电极之间的压电层；以及反射层，反射由于施加到第一电极和第二电极的信号而从压电层产生的谐振频率。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.01.18 KR 10-2012-00057601.一种体声波谐振器(BAWR)，所述BAWR包括: 体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在第一电极和第二电极之间的压电层；以及 反射层，反射由于施加到第一电极和第二电极的信号而从压电层产生的谐振频率。2.如权利要求1所述的BAWR，所述BAWR还包括基底和设置在基底上方的空气空腔，其中，反射层设置在空气空腔上并且设置在体声波谐振单元下方。3.如权利要求2所述的BAWR，其中，反射层包括: 第一反射层，设置在体声波谐振单元下方；以及 第二反射层，设置在第一反射层下方并且设置在空气空腔上，第二反射层的声阻抗高于第一反射层的声阻抗。4.如权利要求3所述的BAWR，其中，第一反射层包括氧化硅基材料、氮化硅基材料、氧化铝基材料和氮化铝基材料中的至少一种。5.如权利要求3所述的BAWR，其中，第一反射层和第二反射层的厚度均为谐振频率的波长的大约1/4。6.如权利要求1所述的BAWR，其中，反射层包括频率温度系数(TCF)的符号与体声波谐振单元的TCF的符号相反的至少一种材料。7.如权利要求1所述的BAWR，其中，反射层包括具有TCF的材料， 反射层的材料的TCF与体声波谐振单元的TCF的和近似为零。8.如权利要求1所述的BAWR，其中，反射层设置在体声波谐振单元上。9.如权利要求8所述的BAWR，其中，反射层包括: 第一反射层，设置在体声波谐振单元上；以及 第二反射层，设置在第一反射层上，第二反射层的声阻抗高于第一反射层的声阻抗。10.如权利要求9所述的BAWR，其中，第一反射层包括氧化硅基材料、氮化硅基材料、氧化铝基材料和氮化铝基材料中的至少一种。11.如权利要求9所述的BAWR，其中，第二反射层包括钥(Mo)、钌(Ru )、钨(W)和钼(Pt)中...

【专利技术属性】
技术研发人员：申济湜，金德焕，金哲秀，朴浩洙，孙尚郁，宋寅相，李文喆，崔婧，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：
国别省市：