【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台，包括金属纳米探针、绝缘堵片和样品支撑台，所述绝缘堵片的正反表面分别设有多个金属电极，且对应的金属电极之间通过金属化通孔实现导电连接；所述样品支撑台一端与绝缘堵片连接，另一端设有取样区和测试区，所述测试区为设在样品支撑台表面并悬空的金属电极，样品支撑台的金属电极与绝缘堵片的金属电极为导电连接；所述金属纳米探针、测试区金属电极和被测样品构成三端场效应晶体管。本专利技术能够在原子尺度的分辨率下观察样品并实时进行电学测量，原位揭示待测单元的电学性能和纳米结构变化。【专利说明】—种原位测量纳米器件的透射电镜样品台
本专利技术属于纳米器件性能原位测量领域，尤其涉及原位测量石墨烯场效应管的电学性能及原子结构的多电极透射电镜样品台，具体为利用纳米尺度微结构加工工艺，在狭小的透射电镜样品上制备多电极器件搭建区以及纳米材料取样区。
技术介绍
在纳米电子器件领域，石墨烯二维材料被认为是硅的接班人。石墨烯是由碳原子组成的单原子层平面薄膜，具有高导电性、高强度、超轻薄等特性。研究基于石墨烯的场效应晶体管在外加电场状态...
【技术保护点】
一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台，其特征在于：包括金属纳米探针、绝缘堵片和样品支撑台，所述绝缘堵片的正反表面分别设有多个金属电极，且对应的金属电极之间通过金属化通孔实现导电连接；所述样品支撑台一端与绝缘堵片连接，另一端设有取样区和测试区，所述测试区为设在样品支撑台表面并悬空的金属电极，样品支撑台的金属电极与绝缘堵片的金属电极为导电连接；所述金属纳米探针、测试区金属电极和被测样品构成三端场效应晶体管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴幸，孙立涛，余开浩，吴旻骏，潘弘扬，邢雪，马子哲，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：
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