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一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台制造技术
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文档序号:9597893
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本发明公开了一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台,包括金属纳米探针、绝缘堵片和样品支撑台,所述绝缘堵片的正反表面分别设有多个金属电极,且对应的金属电极之间通过金属化通孔实现导电连接;所述样品支撑台一端与绝缘堵片连接,另一端设有取样区和测试区...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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