【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种区熔料棒多功能加工机,包括机床、工作台、料棒固定装置和料棒加工装置,工作台通过机床导轨装配在机床上并可在机床上做水平方向的往复运动,料棒固定装置装配在工作台的轴向工作台导轨上,料棒加工装置装配在机床径向的一侧,所述的料棒加工装置包括磨削部件和径向进给平台,径向进给平台的上表面设有径向进给导轨,其特征在于:所述的料棒加工装置还包括开槽部件、斜向进给平台和加工平台,斜向进给平台的上表面设有斜向进给导轨,斜向进给导轨与径向进给导轨在水平面上形成45°的夹角,所述的磨削部件和开槽部件固定在加工平台上。本技术的有益效果:可精确、快速实现长度不等的区熔料棒的磨圆、磨锥和开槽的加工操作。【专利说明】—种区熔料棒多功能加工机
本技术涉及半导体行业的高纯硅区熔料棒加工装置,尤其是一种区熔料棒多功能加工机。
技术介绍
目前,市场上并无区熔料棒专用的加工机床,一般都是传统的外圆磨床,靠横向导轨的双层工作台实现区熔料棒的加工,当工作台与导轨运行方向一致时,区熔料棒滚磨为圆柱形,当转动上层工作台与导轨成一定角度时,区熔料棒加工为锥度,锥角即为工作台与导轨夹 ...
【技术保护点】
一种区熔料棒多功能加工机,包括机床(1)、工作台(2)、料棒固定装置和料棒加工装置,工作台(2)通过机床导轨装配在机床(1)上并可在机床(1)上做水平方向的往复运动,料棒固定装置装配在工作台(2)的轴向工作台导轨上,料棒加工装置装配在机床(1)径向的一侧,所述的料棒加工装置包括磨削部件(3)和径向进给平台(4),径向进给平台(4)的上表面设有径向进给导轨,其特征在于:所述的料棒加工装置还包括开槽部件(5)、斜向进给平台(6)和加工平台(7),斜向进给平台(6)的上表面设有斜向进给导轨,斜向进给导轨与径向进给导轨在水平面上形成45°的夹角,所述的磨削部件(3)和开槽部件(5) ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:曹中谦,范玉红,赵世锋,李宁,荆新杰,范进江,
申请(专利权)人:阳光硅峰电子科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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