MEMS芯片以及MEMS麦克风制造技术

技术编号:9451220 阅读:170 留言:0更新日期:2013-12-13 01:06
本实用新型专利技术提供了一种MEMS芯片,包括焊盘、基座、以及膜片,所述膜片上设置有泄压单元,当外界声压或者气压施加到所述膜片上时,泄压单元泄去部分声压或者气压。本实用新型专利技术解决了现有的MEMS芯片当有较大声压或气压施加到膜片上时,膜片很容易发生破损的问题。本实用新型专利技术中由于在MEMS芯片上设置多个泄压单元,当外界声压或者气压施加到所述膜片上时,泄压单元泄去部分声压或者气压,使得MEMS芯片能承受外界较大气压或较大声压。本实用新型专利技术还提供了一种MEMS麦克风,包括印刷电路板、MEMS芯片,所述MEMS芯片即采用上述的MEMS芯片。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种MEMS芯片,包括焊盘、基座、以及膜片,其特征在于,所述膜片上设置有泄压单元,当外界声压或者气压施加到所述膜片上时,泄压单元泄去部分声压或者气压。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:万景明
申请(专利权)人:山东共达电声股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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