测量仪器的夹持方法技术

本发明专利技术公开了一种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头，包括将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板连接，所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的所述卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型。本发明专利技术提供的测量仪器的夹持方法，通过将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上就可以实现杆状探头的夹持，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型，依靠形状呈斜向弧形楔口的卡槽对实现对测量仪器的快速安装，而且可以避免螺丝掉落的风险，并且能够增加测量仪器的夹持稳定性，提高测量效率和测量精度。

【技术实现步骤摘要】
测量仪器的夹持方法
本专利技术涉及一种测量仪器的夹持方法。
技术介绍
目前，晶圆厂（FAB）的光刻区内，请参阅图1和图2，对探针、探棒等测量仪器的杆状探头3’的固定，是依靠两颗螺丝4’夹紧于金属块2’上，而金属块2’还需要两颗螺丝(图中不可见)固定于支架1’上。上述结构有如下缺陷：一、操作比较繁琐；二、实际使用中，测量仪器容易晃动，影响测量的准确性，尤其对风速测量影响较大；三、螺丝4’在安装和使用过程中很容易掉落，如掉落至机台内，易造成机台隐患。因此，如何提供一种可以增强夹持稳定性、避免螺丝掉落风险、并可以实现快速安装的测量仪器的夹持方法是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种测量仪器的夹持方法，依靠形状呈斜向弧形楔口的卡槽对实现对测量仪器的快速安装，而且可以避免螺丝掉落的风险，并且能够增加测量仪器的夹持稳定性，提高测量效率和测量精度。为了达到上述的目的，本专利技术采用如下技术方案：一种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头，包括将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头，其特征在于，包括将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板连接，所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的所述卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型。

【技术特征摘要】
1.一种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头，其特征在于，包括将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板连接，所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的所述卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型。2.根据权利要求1所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述卡槽对的数量是两个以上，两个以上的卡槽对沿所述卡板的纵向间隔设置。3.根据权利要求1所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述卡槽对的数量是三个。4.根据权利要求1所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述夹持架的下方固定设有一支撑架。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：程蒙，马力鹏，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：