【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供，应用于真空镀膜设备中，可在稳定物料运送过程的同时扩大加工区域面积，从而提高设备产能。本专利技术将柔性衬底箔以螺旋方式紧密贴合缠绕于卷绕机构的辊筒外表面上，通过卷绕机构的转动带动柔性衬底箔在其表面做三维空间内的螺旋式转动前进，配合放卷机构和收卷机构的动作，实现柔性衬底箔卷到卷的运送过程。卷绕机构的中间部位外周空间可根据需要设置镀膜或加工装置。卷绕机构内部还可以安装具有加热、冷却功能的装置或做接地连接，此时卷绕机构的功能不仅是提供运送物料的动力源，还兼具对柔性衬底箔温度控制功能。本专利技术可以方便的进行平行串联布置，实现调整工序或扩大产能的目的。【专利说明】
本专利技术涉及真空镀膜领域，特别是涉及应用各种真空镀膜方法在柔性衬底箔上实现连续的薄膜材料沉积设备中的卷到卷的运送装置和运送方法。
技术介绍
卷到卷式(Roll-to-Roll)的真空镀膜设备，用于在柔性衬底箔(如金属箔、塑料薄膜等)上连续沉积半导体材料、金属材料或有机物材料以及对衬底本身或沉积薄膜的特殊加工处理(如退火、刻蚀、钝化、激光划刻等)，广泛应用于柔性光伏器件、柔性显...
【技术保护点】
一种柔性衬底箔卷到卷运送方法，其特征在于该方法包括：第1、将柔性衬底箔以螺旋方式紧密贴合缠绕于卷绕机构的辊筒外表面上；?第2、放卷机构和收卷机构配合卷绕机构作同步转动，随着卷绕机构的转动，带动柔性衬底箔沿缠绕的螺旋线方向转动，从而实现从卷绕机构的一段运送至另一端，完成柔性衬底箔的卷到卷运送过程。
【技术特征摘要】
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