下载一种柔性衬底箔卷到卷的运送装置和运送方法的技术资料

文档序号:9431179

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本发明提供一种柔性衬底箔卷到卷的运送装置和运送方法,应用于真空镀膜设备中,可在稳定物料运送过程的同时扩大加工区域面积,从而提高设备产能。本发明将柔性衬底箔以螺旋方式紧密贴合缠绕于卷绕机构的辊筒外表面上,通过卷绕机构的转动带动柔性衬底箔在其表...
该专利属于胡增鑫所有,仅供学习研究参考,未经过胡增鑫授权不得商用。

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