【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种围栏间隔的设计规则测试电路，其特征在于，包括：一导电层；设于所述导电层的多个通孔，所述多个通孔在所述导电层上呈纵列分布，且每个通孔与所述导电层的围栏间隔各不相等；栅极与所述导电层电连接、漏极与电源输入端电连接、源极与电源输出端电连接的MOSFET；分别与所述多个通孔电连接的多个导线层，所述多个导线层分别与多个控制端电连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：冯军宏，甘正浩，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。