封闭式热系统用液相掺杂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开的封闭式热系统用液相掺杂装置，用于直拉法生产易挥发掺杂元素单晶硅生产过程中易熔化元素掺杂。掺杂装置主要由上部挂件（1）、中部空腔（2）、石英罩（8）构成；上部挂件（1）与炉子上轴连接，可上下升降。中部空腔（2）内设置有一个倒立状细管通道（3），下端设置有带均匀刻槽（6）的锥形面（7），底部设有一个石英罩（8）。硅熔体全部熔化后下降炉体上轴，使掺杂装置底部接近熔体表面，利用硅熔体的辐射热量将中部空腔（2）内的掺杂元素（4）熔化，熔化后的掺杂元素（4）通过锥形面（7）上的均匀刻槽（6）和细管通道（3）上的狭窄缝隙（5）流入硅熔体内，达到掺杂的目的，本实用新型专利技术安装操作方便，安全性能好，明显的提高了掺杂效率，确保了产品质量。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
封闭式热系统用液相掺杂装置，其特征是：所述的封闭式热系统用液相掺杂装置为一体式结构设计，采用高纯石英材料制做，主要由上部挂件（1）、中部空腔（2）、石英罩（8）构成；其中，中部空腔（2）上端的上部挂件（1）与单晶炉的上轴连接，中部空腔（2）内设置有倒立状细管通道（3），中部空腔（2）的下端设置有带均匀刻槽（6）的锥形面（7），底部设有一个石英罩（8）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：令狐铁兵，高林育，张明亮，仝泉，
申请(专利权)人：洛阳单晶硅有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：