使用多个相机测量晶体生长特征制造技术

技术编号：9360037 阅读：87 留言：0更新日期：2013-11-21 04:58

描述了对正从坩埚拉制的晶体的三维测量。第一相机在第一图像平面上捕获晶体的第一图像且第二相机在第二图像平面上捕获第二图像。生成在晶体生长期间晶体的数学模型。该模型包括多个模型取样点。在第一图像和第二图像内检测晶体生长特征。通过将该模型与第一图像内的所述至少一个晶体生长特征进行比较来确定第一误差值，并通过将该模型与第二图像内的所述至少一个晶体生长特征进行比较来确定第二误差值。通过调整该数学模型以使所确定的第一误差值和所确定的第二误差值最小化，来生成与所述至少一个晶体生长特征关联的估算的3-D度量值。