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使用多个相机测量晶体生长特征制造技术
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下载使用多个相机测量晶体生长特征的技术资料
文档序号:9360037
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描述了对正从坩埚拉制的晶体的三维测量。第一相机在第一图像平面上捕获晶体的第一图像且第二相机在第二图像平面上捕获第二图像。生成在晶体生长期间晶体的数学模型。该模型包括多个模型取样点。在第一图像和第二图像内检测晶体生长特征。通过将该模型与第一图...
该专利属于MEMC电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过MEMC电子材料有限公司授权不得商用。
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