【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种氮化镓功率场效应晶体管，其特征在于，所述的结构包括衬底、位于所述衬底表面的缓冲层、外延方法形成在所述缓冲层表面的氮化镓沟道层，外延方法形成在所述氮化镓表面上的铝镓氮层、沉积于所述铝镓氮表面的源极和漏极、位于源极和漏极之间的栅极，以及位于所述栅极与铝镓氮之间的多晶硅层和绝缘层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘朋，王振中，李超，
申请(专利权)人：无锡派腾微纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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