【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种清洗液，包括：含有铁离子的化合物、铁的络合剂和氯化物。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：何华锋，王晨，
申请(专利权)人：安集微电子科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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