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本发明提供了一种清洗液，包括含有铁离子的化合物、铁的络合剂和氯化物。该清洗液可用于加速金属污染物的溶解，解决了化学机械抛光液供料系统中金属污染物的残留问题，提高了化学机械抛光质量。...
该专利属于安集微电子科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安集微电子科技（上海）有限公司授权不得商用。

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