波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备制造技术
【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备
本专利技术涉及波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块以及电子设备。
技术介绍
以往，公知有如下的波长可变干涉滤波器（例如，参考专利文献1）：具有相互相对的一对反射膜，且通过使该反射膜间的距离变化，从而从测定对象的光取出规定波长的光。在专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器（光谐振器）具备相互相对的第一基板及第二基板、分别配置在各基板上且隔着反射膜间间隙相互相对的高反射膜、分别配置在各基板上且相互相对的电极。在这样的波长可变干涉滤波器中，通过对电极间施加电压，从而能使第二基板变形，以调整反射膜间间隙。【在先技术文献】【专利文献】专利文献1：日本特开平7-243963号公报但是，在上述专利文献1的波长可变干涉滤波器中，由于是通过由一对电极构成的一个静电致动器控制反射膜间间隙的结构，所以有时会发生由于噪声等引起的驱动电压的变动而使反射膜间间隙的间隙量变动，从而存在反射膜间间隙的间隙控制精度劣化这样的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供可以高精度地调整反射膜间间隙的波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块以及电子设备。本...
【技术保护点】
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；第一致动器，在从基板厚度方向俯视观察所述第一基板及所述第二基板时，设置在所述第一反射膜及所述第二反射膜重叠的光干涉区域的外侧，所述第一致动器改变所述反射膜间间隙；以及第二致动器，在所述俯视时，设置在所述光干涉区域的外侧，所述第二致动器与所述第一致动器独立地驱动，改变所述反射膜间间隙，其中，所述第一致动器具有多个第一部分致动器，在所述俯视时，多个所述第一部分致动器分别具有相同的形状，被设置在相对...
【技术特征摘要】
2012.04.18 JP 2012-0945171.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；第一致动器，在从基板厚度方向俯视观察所述第一基板及所述第二基板时，设置在所述第一反射膜及所述第二反射膜重叠的光干涉区域的外侧，所述第一致动器改变所述反射膜间间隙；以及第二致动器，在所述俯视时，设置在所述光干涉区域的外侧，所述第二致动器与所述第一致动器独立地驱动，改变所述反射膜间间隙，其中，所述第一致动器具有多个第一部分致动器，在所述俯视时，多个所述第一部分致动器分别具有相同的形状，被设置在相对于所述光干涉区域上的一点为等角度间隔且距离所述一点的距离是相同距离的位置上，所述第二致动器具有多个第二部分致动器，在所述俯视时，多个所述第二部分致动器分别具有相同的形状，被设置在相对于所述光干涉区域上的一点为等角度间隔且距离所述一点的距离是相同距离的位置上。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述一点是所述光干涉区域的中心点。3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述俯视时，所述第一致动器及所述第二致动器被配置于在所述光干涉区域的一部分中具有中心的圆的圆周上。4.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述波长可变干涉滤波器还具备：第一电极；设置于所述第一基板；第二电极；设置于所述第一基板；第三电极，设置于所述第二基板，与所述第一电极相对；以及第四电极，设置于所述第二基板，与所述第二电极相对，所述第一电极具备：多个第一部分电极，在所述俯视时，设置于所述光干涉区域的外侧；第一连接电极，连接多个所述第一部分电极；以及第一引出电极，与所述第一部分电极及所述第一连接电极中的任一个连接，所述第二电极具备：多个第二部分电极，在所述俯视时，设置于所述光干涉区域的外侧；第二连接电极，连接多个所述第二部分电极；以及第二引出电极，与所述第二部分电极及所述第二连接电极中的任一个连接，在所述俯视时，所述第一部分致动器至少由所述第一部分电极和所述第三电极重叠的区域构成，在所述俯视时，所述第二部分致动器至少由所述第二部分电极和所述第四电极重叠的区域构成。5.根据权利要求4所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述俯视时，所述第一部分致动器由所述第一部分电极及所述第三电极重叠的区域、以及所述第一连接电极的至少一部分和所述第三电极重叠的区域构成。6.根据权利要求4或5所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述俯视时，所述第二部分致动器由所述第二部分电极及所述第四电极重叠的区域、以及所述第二连接电极的至少一部分和所述第四电极重叠的区域构成。7.根据权利要求4或5所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述俯视时，所述第一致动器由所述第一连接电极的一部分及所述第三电极重叠的圆环对向区域构成，在所述俯视时，所述圆环对向区域具有以所述光干涉区域的一点为中心的圆环形状。8.根据权利要求4或5所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第二基板具有：可动部，设置有所述第二反射膜；保持部，设置于所述可动部的外侧，所述保持部保持所述可动部能相对于所述第一基板进退移动；以及基板外周部，设置于所述保持部的外侧，且所述基板外周部具有：与所述第一基板接合的接合区域、以及隔着规定间隙与所述第一基板相对的非接合区域，所述第一连接电极及所述第二连接电极中的至少一个与所述第二基板的所述基板外周部的所述非接合区域相对设置。9.根据权利要求8所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第三电极具备：多个第三部分电极，在所述俯视时，设置在所述光干涉区域的外侧且与所述第一部分电极重叠；以及第三连接电极，连接多个所述第三部分电极，所述第四电极具备：多个第四部分电极，在所述俯视时，设置在所述光干涉区域的外侧且与所述第二部分电极重叠；以及第四连接电极，连接多个所述第四部分电极，所述第三连接电极及所述第四连接电极中的至少一个设置在所述基板外周部的所述非接合区域。10.根据权利要求4或5所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第三电极具备：多个第三部分电极，在所述俯视时，设置在所述光干涉区域的外侧且与所述第一部分电极重叠；第三连接电极，连接多个所述第三部分电极；以及第三引出电极，与所述第三部分电极及所述第三连接电极中的任一个连接，所述第四电极具备：多个第四部分电极，在所述俯视时设置在所述光干涉区域的外侧且与所述第二部分电极重叠；第四连接电极，连接多个所述第四部分电极；以及第四引出电极，与所述第四部分电极及所述第四连接电极中的任一个连接，在所述俯视时，所述第一引出电极被设置在与所述第三引出电极及所述第四引出电极不重叠的位置，在所述俯视时，所述第二引出电极被设置在与所述第三引出电极及所述第四引出电极不重叠的位置。11.根据权利要求4或5所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第三电极及所述第四电极由一个圆环状的共通电极构成。12.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一致动器及所述第二致动器是静电致动器。13.一种滤光器设备，其特征在于，具备：波长可变干涉滤波器以及收容所述波长可变干涉滤波器的壳体，所述波长...
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