测量静电卡盘的静电力的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种测量静电卡盘的静电力的装置，包括：真空腔体、静电卡盘、测力传感器、动力装置和测距传感器。具体而言，所述静电卡盘设在所述真空腔体内；所述测力传感器在靠近所述静电卡盘和远离所述静电卡盘的方向上可移动地设在所述真空腔体内，且所述测力传感器适于连接晶片；所述动力装置设在所述真空腔体上，且所述动力装置与所述测力传感器相连；所述测距传感器设在所述真空腔体内。根据本发明专利技术实施例的测量静电卡盘的静电力的装置，可以获得更加完整精确的数据。在采用静电卡盘生产集成电路的过程中，可以有效的调节静电力，从而提高生产效率和质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，包括：?真空腔体；?静电卡盘，所述静电卡盘设在所述真空腔体内；?测力传感器，所述测力传感器在靠近所述静电卡盘和远离所述静电卡盘的方向上可移动地设在所述真空腔体内，且所述测力传感器适于连接晶片；?动力装置，所述动力装置设在所述真空腔体上，且所述动力装置与所述测力传感器相连；和?测距传感器，所述测距传感器设在所述真空腔体内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：程嘉，曹明路，季林红，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：