温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种测量静电卡盘的静电力的装置，包括：真空腔体、静电卡盘、测力传感器、动力装置和测距传感器。具体而言，所述静电卡盘设在所述真空腔体内；所述测力传感器在靠近所述静电卡盘和远离所述静电卡盘的方向上可移动地设在所述真空腔体内，且所述测...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。