测试系统及其测试方法技术方案

技术编号:9277747 阅读:87 留言:0更新日期:2013-10-24 23:56
一种测试系统,适用于具有数个快闪存储器晶粒的一晶圆。上述测试系统包括一测试机台以及一探针卡。上述测试机台提供一测试请求。上述探针卡经由一特定传输线耦接于上述测试机台。上述探针卡包括数个探针以及一控制器。上述探针接触于上述晶圆的至少一上述快闪存储器晶粒。上述控制器根据上述测试请求,经由上述探针写入一测试数据至上述快闪存储器晶粒,并从上述快闪存储器晶粒读取出上述测试数据。上述控制器根据所读取的上述测试数据,提供一测试结果至上述测试机台。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种测试系统,适用于具有数个快闪存储器晶粒的一晶圆,包括:一测试机台,用以提供一测试请求;以及一探针卡,经由一特定传输线耦接于上述测试机台,包括:数个探针,用以接触于上述晶圆的至少一上述快闪存储器晶粒;以及一控制器,用以根据上述测试请求,经由上述探针写入一测试数据至上述快闪存储器晶粒,并从上述快闪存储器晶粒读取出上述测试数据;其中上述控制器根据所读取的上述测试数据,提供一测试结果至上述测试机台。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈建基
申请(专利权)人:慧荣科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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