【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种铁电薄膜的制造方法，从毛细管的吐出口朝向具有下部电极的基板的所述下部电极静电喷涂铁电薄膜形成用的静电喷涂用液而将所述静电喷涂用液涂布到所述下部电极上来形成涂膜，对所述涂膜进行干燥、临时烧结之后进行烧成来使其结晶化，从而在所述下部电极上制造铁电薄膜，其特征在于，所述静电喷涂用液为均匀混合铁电薄膜形成用溶胶?凝胶液和具有与所述溶胶?凝胶液的固体物相同组成且具有能从所述吐出口吐出的粒径的粉末的混合液，其中，将溶解于所述溶胶?凝胶液中的金属化合物换算成金属氧化物的质量设为A，将所述粉末的质量设为B时，B相对于A+B的比率在5%以上40%以下的范围。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：饭田慎太郎，樱井英章，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。