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本发明提供铁电薄膜的制造方法和静电喷涂用液。在烧成通过静电喷涂吐出、形成的薄膜之后，得到致密且无龟裂的铁电薄膜。该方法为，从毛细管的吐出口朝向具有下部电极的基板的下部电极静电喷涂铁电薄膜形成用的静电喷涂用液而将静电喷涂用液涂布到下部电极上来...
该专利属于三菱综合材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱综合材料株式会社授权不得商用。

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