【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高数值孔径浸没投影物镜，其特征在于：所述浸没投影物镜包括：从光束入射方向依次置有平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；其中：平行平板组没有光焦度；第一透镜组是复杂化的双高斯结构，具有正光焦度，第一透镜组对物方图形成一次中间像，该中间像位于反射镜组的第一块反射镜之前；反射镜组具有负光焦度，并对物方图形成第二次中间像，用于校正所述物镜的场曲以及缩小其体积；第二透镜组具有正光焦度，将中间像成像在所述物镜的焦面处；物面发出的远心光束通过平行平板组，并入射到第一透镜组；平行平板组用作保护玻璃；第一透镜组具有双高斯结构，是对第一透镜组的输入光束进行成像，即形成第一次中间像，以便光束能顺利通过反射镜组的第二反射镜而不被遮挡；另一方面，第一透镜组对所述物镜产生的场曲，和反射镜组的第一反射镜，以及反射镜组的第二反射镜产生的场曲相补偿；反射镜组用于将输入光束实现两次反射折转，并在所述物镜中产生负的场曲用以实现补偿，从而减小所述物镜内的所有透镜的口径以及其几何尺寸；所述透镜组用于0.25倍率、1.35数值孔径的实现；最后，物面的光束通过平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组之后，再通过浸没...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱红伟，邢廷文，林妩媚，白瑜，廖志远，邓超，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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