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本发明提供一种高数值孔径浸没投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内；该浸没投影物镜，沿其光轴方向包括平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；从光束入射方向顺序平行平板组具有一个平行平板，第一透镜组具有正光焦度，反射镜组具有负光焦度...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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