【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：包括机架、硅片传送机构（1）、激光发生装置、荧光成像模块（3）和图像采集?处理模块（4），所述激光发生装置、至少一个荧光成像模块（3）和图像采集?处理模块（4）分别固设于机架上，硅片传送机构（1）能够输送待检测硅片到达检测位置，激光发生装置能够发射垂直于硅片运动方向的激光线并照射检测位置的待检测硅片，荧光成像模块（3）能够对检测位置的硅片发出的荧光信号进行探测并传信于图像采集?处理模块（4）进行分析和处理。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈利平，李波，裴世铀，
申请(专利权)人：苏州中导光电设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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