【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种太阳能硅片线痕高精度检测系统,包括硅片传送机构(1)、硅片位置感应装置(2)、检测模块、数据采集卡(17)和处理器(18),所述硅片传送机构(1)能够带动硅片直线运动,检测模块上设有至少一个激光三角位移传感器(3),激光三角位移传感器(3)将探测光斑投射到硅片表面来对其表面高度信息进行测量,硅片位置感应装置(2)能够感应硅片位于激光三角位移传感器(3)检测位置并传信于数据采集卡(17),数据采集卡(17)采集激光三角位移传感器(3)传输的测量信息并输出数据给处理器(18),其特征是:所述激光三角位移传感器(3)的探测光斑为椭圆光斑(31),该椭圆光斑(31)的长轴方向与硅片线痕方向平行,椭圆光斑(31)的短轴方向与硅片运动方向一致。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈利平,惠施,裴世铀,李波,
申请(专利权)人:苏州中导光电设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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