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本实用新型公开了一种太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，包括机架、硅片传送机构、激光发生装置、荧光成像模块和图像采集-处理模块，所述激光发生装置、至少一个荧光成像模块和图像采集-处理模块分别固设于机架上，硅片传送机构能够输送待检测硅片...
该专利属于苏州中导光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中导光电设备有限公司授权不得商用。

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