【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种设备加工能力数据的处理系统，其特征在于，包括：数据采集装置，用于采集设备加功能力数据；数据存储装置，用于存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；加工能力分析装置，用于从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王海杰，陈艳，朱敏，陈毅俊，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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