【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有多台阶的宽范围光纤真空传感器，包括传感器头、传感器体（5）和传输光纤（7）、以及传感器的支撑结构和传输光纤的容纳结构，其特征在于，所述传感器头为台阶式光纤真空传感器头，具有双层结构，第一层结构为单晶硅晶圆片（2），第二层结构为Pyrex玻璃晶圆片（3）；其中：?所述单晶硅晶圆片（2）作为弹性膜片，感受压力，单晶硅晶圆片前表面（9）具有SiO2氧化层台阶（1）且经光刻腐蚀，单晶硅晶圆片后表面（10）构成法布里?珀罗腔（8）的第二个反射面；?所述Pyrex玻璃晶圆片的Pyrex玻璃晶圆片前表面（16）具有两级台阶式的圆形浅坑阵列，其被切割成表面为正方形或其他多边形的单个传感器头单元，该圆形浅坑阵列包括圆形浅坑第一台阶（14）和圆形浅坑第二台阶（15）；圆形浅坑第二台阶（15）底部镀的反射膜（17）作为法布里?珀罗腔（8）的第一个反射面；Pyrex玻璃晶圆片后表面（12）具有圆形浅坑（13），与前述圆形浅坑阵列的位置同心，共轴，用于对光纤的定位；?所述传感体（5）中间具有轴向通孔，远离传感头的一端设置有与轴向通孔同心、同轴的喇叭口，传感器体前表面与传感器头后表面通过环氧树脂胶胶合在一...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：江俊峰，刘铁根，尹金德，刘琨，邹盛亮，王双，秦尊琪，吴凡，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：
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