【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪,其特征在于,它包括短相干激光器(1)、空间滤波器(2)、分光棱镜(3)、直角反射镜(4)、偏振分光棱镜(5)、λ/4波片(6)、4f扩束系统(7)、显微物镜(8)、平面反射镜(9)、角锥棱镜(10)、移相器(11)、光纤耦合镜(12)、单模光纤(13)和光纤准直镜(14)、λ/2波片(15)、偏振分光棱镜(16)、偏振片(17)、面阵CCD(18)和计算机(19),短相干激光器(1)发射出的线偏振激光束经空间滤波器(2)滤波扩束后入射至分光棱镜(3),线偏振激光束经分光棱镜(3)分为第一反射光和第一透射光,第一反射光入射至偏振光分棱镜(5),第一反射光在偏振光分棱镜(5)的分光面上完全透射形成第二透射光,第二透射光经λ/4波片(6)改变偏振方向后入射至4f扩束系统(7),改变偏振方向的第二透射光经入射至4f扩束系统(7),经4f扩束系统(7)扩束后入射至显微物镜(8),扩束的第二透射光经显微物镜(8)会聚到被测微球的表面,会聚的第二透射光的光束会聚中心与被测微球的球心重合,并经被测微球沿会聚的第二透射光的光路反向入射至4f扩束系统 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈凤东,卢丙辉,甘雨,庄志涛,冯博,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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