【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种气体传感器用声表面波敏感器件，其包括一个衬底、一个第一双端声表面波谐振器、一个与该第一双端声表面波声谐振器的谐振频率不同的第二双端声表面波谐振器，其特征在于：该衬底包括一个第一表面和一个与该第一表面相对设置的第二表面；该第一双端声表面波谐振器设置在该第一表面，该二双端声表面波谐振器设置在该第二表面；该第一双端声表面波谐振器和该第二双端声表面波谐振器具有一个交叠区域。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杜波，马晋毅，江洪敏，杨靖，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：发明
国别省市：
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