【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用屏幕膜和覆膜机叠加转移大面积石墨烯的方法,其特征在于按如下步骤进行:a、将上表面生长有石墨烯的铜箔剪裁至面积不大于100cm×100cm,将面积不小于所述铜箔的屏幕膜覆盖在所述铜箔的上表面;用覆膜机的滚轴在所述屏幕膜上加压,使屏幕膜粘附在铜箔上表面的石墨烯上,形成铜箔/石墨烯/屏幕膜的复合结构;b、将所述铜箔/石墨烯/屏幕膜的复合结构以所述屏幕膜朝上放入铜箔刻蚀液中刻蚀,去除铜箔基底,形成漂浮在铜箔刻蚀液表面的石墨烯/屏幕膜的复合层;然后将所述石墨烯/屏幕膜的复合层转移到去离子水中清洗并在室温下自然晾干,晾干时间不少于10分钟;c、将石墨烯/屏幕膜的复合层以石墨烯朝下放在目标基底上,将覆膜机加热到120℃?160℃,用覆膜机的滚轴将石墨烯/屏幕膜的复合层和目标基底滚压在一起,石墨烯与屏幕膜分离并转移到目标基底上,调整覆膜机的滚轴速度使滚压过程的时间为20?100秒;d、以转移有一层石墨烯的目标基底作为第二次转移的目标基底,重复步骤a、b和c,在目标基底的一层石墨烯上覆盖第二层石墨烯,依次类推,直至在目标基底上转移n层石墨烯,n不大于15。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吕鹏,张梓晗,
申请(专利权)人:合肥微晶材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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