破裂膜片数控铣床冲压装置及冲压方法制造方法及图纸

技术编号:921877 阅读:206 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
破裂膜片数控铣床冲压装置及冲压方法,涉及一种破裂膜片刻痕的制造装置及方法。本发明专利技术针对加工破裂膜片刻痕时,在无满足要求的压力机、无MEMS光刻工艺条件情况下,提供的一种破裂膜片数控铣床冲压装置,利用数控铣床上装夹的刀套向上模施压,上模下表面是根据需破裂膜片的刻痕结构确定的凸起刃痕面。同时提供一种破裂膜片数控铣床冲压方法,依次包括加工、安装上模步骤,固定待破裂的膜片步骤,通过数控铣床对上模施压的步骤。采用本发明专利技术进行膜片的刻痕加工,只需一般的数控铣床即可实现,且操作简单,加工质量稳定,利于推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种膜片的制造装置及方法,具体涉及一种破裂膜片刻痕的制造装置及方法
技术介绍
破裂膜片在火箭结构或武器装备的动力系统中,主要起隔离作用,其是利用材料在外力 作用下使预制一定形状的刻痕作为先破坏原理工作的,当膜片上作用的压力增大到某一数值 时,膜片即沿着预制的刻痕破裂。根据已公开的资料文献中介绍,破裂膜片的刻痕加工可采用压力机冲压、MEMS光刻工艺 进行制造。《发动机制造技术》(宇航出版社)中介绍"膜片刻痕采用机械压制,要选用 有显示压力值的压力机,并按压制试件时的加压速度和压力大小来压制同批膜片的刻痕,若 用一般杠杆式手动压力机时,力求操作规范化,以保持刻痕质量稳定一致"。但是因现代装 备设计中要求膜片小型化,因此对压力机也有了严格的限制,不仅要求压力机显示压力值, 还要求压力吨位小且精度高等。在实际加工中,又由于压制时的加压速度的不易控制,造成 膜片刻痕深度的均匀性不好,可靠性差。另外在《火箭推进》第31巻第1期《光刻膜片在膜 片阀中的应用》文章中介绍了此类膜片的MEMS光刻工艺流程,包括膜片化学清洗、烘干、涂 胶、曝光、显影、坚膜、化学铣切、去胶、电刻。但是ME本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种破裂膜片数控铣床冲压装置,其特征在于在数控铣床上直接装夹刀套,刀套正下方的工作台上固定有垫板,垫板上放置膜片;膜片上方设有上模,上模下表面是根据需破裂膜片的刻痕结构确定的凸起刃痕面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张雪莲唐从刚熊开明皮利军李铁钢卢天山张振宇
申请(专利权)人:国营红阳机械厂
类型:发明
国别省市:83[中国|武汉]

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